• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Дворина, Л. А. Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 01.04.07, 05.16.06 / Л. А. Дворина. - Киев, 1990. - 48 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. : АН УССР. Ин-т пробл. материаловедения им.И.Н.Францевича. Библиогр.:с. 44-48(35 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.09.37621.3.049.77.002.3(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-018358)

    Шифр в сводном ЭК: edd5d5a2fc5e7a27e3933da54fc7c5ee



    Заказ фрагмента документа ₽