Полное описание

Микроэлектромеханические системы : учеб. пособие / С. П. Тимошенков [и др.]. - М. : МИЭТ, 2009 (М.). - 52 с. : ил. - Библиогр.: с. 51 (20 назв.). - 250 экз. - ISBN 978-5-7256-0543-3. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы

Доп. точки доступа:
Тимошенков, С.П.
Калугин, В.В.
Анчутин, С.А.
Морозова, Е.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/65491)

Шифр в сводном ЭК: fa97719ebe2d2dca3c04809b1d4dfd40

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽