Полное описание
> Бархоткин, А. В. Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.07 / А. В. Бархоткин. - М., 1999. - 28 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 27-28(10 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76.002.5-52(043) | |
| 47.01.85 |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-сф236)>
Шифр в сводном ЭК: e78b7f2d9b0a0c126edc24a7e3ced5b8
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Арсеньев Г.Н. Радиоавтоматика. Практикум : выставочные материалы / Г. Н. Арсеньев, С. Н. Замуруев, 2014. - 280 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Погодин А.А. Синтез электронных схем в устройствах электрорадиоавтоматики / А. А. Погодин, Ю. Л. Филимонов, А. Д. Шишкин, 1994. - 139 c. - Текст : непосредственный.Арсеньев Г.Н. Радиоавтоматика. Практикум : выставочные материалы / Г. Н. Арсеньев, С. Н. Замуруев, 2013. - 260 с. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПопов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Редин В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин, 1992. - 41 с. - Текст : непосредственный.Никишина С.В. Исследование и моделирование процессов накопления, обработки и анализа массивов технологических данных в области микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.18 / С. В. Никишина, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный.Бархоткин А.В. Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.07 / А. В. Бархоткин, 1999. - 28 с. - Текст : непосредственный.Абрамова Л.С. Разработка элементов и устройств системы управления процессом порезки щелочногалоидных монокристаллов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.05 / Л. С. Абрамова, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Веденин К.В. Моделирование процессов информационного обеспечения микроэлектронной технологии с применением методов искусственного интеллекта : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.16 / К. В. Веденин, 2000. - 18 с. - Текст : непосредственный.Зайцев Н.Г. Аппаратно-программный комплекс для автоматизации технологического процесса производства приборов микро- и оптоэлектроники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. Г. Зайцев, 2007. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽