• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Александров, С. Е. Закономерности низкотемпературного химического осаждения нитридных и оксинитридных пленок из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим. наук: 05.27.06 / С. Е. Александров. - СПб, 1998. - 34 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 31-34(40 назв.)

    ГРНТИ УДК
    45.09.37621.315.61-416.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-сф19)

    Шифр в сводном ЭК: d8c2198fad95fa00783550dcd25d64ea



    Заказ фрагмента документа ₽