Полное описание
Дударев, Д. А.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.38.002.5-52(043)
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-893)
Шифр в сводном ЭК: a3b4ac0215d1bebf352185f89b202b61
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Гуськова И.Г. Разработка методов проектирования упругодеформируемых микроприводов прямолинейного типа и создание функциональных устройств на их основе для работы в особо чистых средах и высоком вакууме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / И. Г. Гуськова, 1992. - 25 с. - Текст : непосредственный. Смирнова М.С. Управление технологическими комплексами сборочно-монтажного производства в условиях неопределенности : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / М. С. Смирнова, 2008. - 18 с. - Текст : непосредственный. Андренюк В.А. Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.02.13 / В. А. Андренюк, 2003. - 28 с. - Текст : непосредственный. Королев Ю.В. Технология проектирования программного обеспечения систем управления комплексами транспортировки и сортировки интегральных микросхем и модулей : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.06 / Ю. В. Королев, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный. Хрулев А.Н. Методы и средства решения задач эффективного применения автоматизированных систем производственного типа : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.12 / А. Н. Хрулев, 2002. - 30 с. - Текст : непосредственный. Степанов С.В. Повышение эффективности автоматизированной загрузки штучных изделий на базе пневматических загрузочных устройств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / С. В. Степанов, 2000. - 16 с. - Текст : непосредственный. Буцынская Т.А. Автоматизация охранно-пожарной сигнализации интегрированной АСУТП предприятия электронного приборостроения на основе ультразвукового модуля : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Т.А. Буцынская, 2003. - 24 с. - Текст : непосредственный. Меркушев О.М. Разработка методов расчета и конструирования манипуляторов для чистых производственных помещений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / О. М. Меркушев, 1997. - 23 с. - Текст : непосредственный. Межинский Ю.С. Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07, 05.13.07 / Ю. С. Межинский, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный. Камакин В.А. Повышение эффективности плазмохимического процесса очистки и нанесения покрытий на кварцевые трубы путем автоматической стабилизации температуры технологически значимых зон : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. А. Камакин, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный. Аккулов Р.И. Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационых транспортных систем микроэлектроники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Р. И. Аккулов, 2007. - 30 с. - Текст : непосредственный. Зотова М.О. Исследование влияния неточности изготовления на дополнительные аберрации магнитных быстродействующих отклоняющих систем и квадрупольных линз : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / М. О. Зотова, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный. Дударев Д.А. Автоматические измерители расхода и дозаторы газообразных веществ на основе терморезистивных преобразователей : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.05 / Д. А. Дударев, 1998. - 28 с. - Текст : непосредственный. Азаров В.Н. Информационно-измерительные системы на основе электронно-лучевого зондирования пучков заряженных частиц технологического и антилитического оборудования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.13.05 / В. Н. Азаров, 1990. - 34 с. - Текст : непосредственный. Ляшук Ю.Ф. Создание прецизионных координатных систем на базе линейного шагового привода : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.02.02 / Ю. Ф. Ляшук, 2002. - 40 с. - Текст : непосредственный. Карпович С.Е. Построение прецизионных координатных систем и механизмов оборудования производства электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / С. Е. Карпович, 1997. - 42 с. - Текст : непосредственный. Just E. Entwicklung eines Formgedachtnis-Mikrogreifers / E.Just, 2001. - 83 S. - Текст : непосредственный. Аваков С.М. Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / С. М. Аваков, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный. Иванов Ю.В. Методы и средства проектирования технологических структур гибких автоматизированных сборочных комплексов многономенклатурного производства электронной аппаратуры : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.13.06 / Ю. В. Иванов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
