• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Наумов, А. С. Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.14 / А. С. Наумов. - М., 2007. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-19(23 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.35621.382.002:621.373.826(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-8678)

    Шифр в сводном ЭК: e7906c8eb679ab517556468c8c590f34



    Заказ фрагмента документа ₽