• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Гладких, А. А. Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планаризации : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.12 / А. А. Гладких. - 2013. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14-047.56(043)

    Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-6906)

    Шифр в сводном ЭК: 80ecd52f5db6825b937153e97bacda18



    Заказ фрагмента документа ₽