• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - . - Текст : непосредственный.
    7, Т. 1 : Микроинженерия монокристаллического кремния / Н. Н. Балан [и др.]. - 2013. - 193 с. : ил. - Библиогр.: с. 162-190 (269 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-905872-14-3

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:548.5

    Рубрики:
    Кремний -- Кристаллизация

    Доп. точки доступа:
    Балан, Н.Н.
    Васин, В.А.
    Ивашов, Е.Н.
    Степанчиков, С.В.
    Экз-ры полностью ef40a75b3eb5e836ba793eb98fc52fb4
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/67641/7/1)

    Шифр в сводном ЭК: ef40a75b3eb5e836ba793eb98fc52fb4



    Заказ фрагмента документа ₽