Полное описание
Малыхин, Е. М.
ГРНТИ УДК 47.13.35 621.3.049.771.14-047.84(043)
Кл.слова (ненормированные): ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ С ПОВЕРХНОСТЬЮ -- ЗАГРЯЗНЕНИЕ -- ЛИТОГРАФЫ -- МНОГОСЛОЙНЫЕ ЗЕРКАЛА -- ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ОЧИСТКА -- СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- СРОК СЛУЖБЫ -- УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ -- ФИЗИЧЕСКИЕ МЕХАНИЗМЫ
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-11622)
Шифр в сводном ЭК: bbfb959b64e37bb81c3266be6c0d4f36
Гонов С.Ж. Особенности воздействия милли- и наносекундного лазерного излучения на полупроводниковые материалы твердотельной электроники : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. Ж. Гонов, 2007. - 16 с. - Текст : непосредственный. Жариков В.М. Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки : специальность 05.03.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. М. Жариков, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный. Давыдов Н.Н. Научные основы совершенствования радиационно-лазерных систем испытания, обработки и контроля изделий электронного производства : специальность 05.13.01 "Системный анализ,управление и обработка информации (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Н. Н. Давыдов, 2004. - 32 с. - Текст : непосредственный. Абрамишвили А.Д. Кристаллизация твердых растворов селенида свинца-селенида олова из паровой фазы под воздействием лазерного излучения : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Д. Абрамишвили, 1991. - Текст : непосредственный. Масычев В.И. Разработка лазерного технологического оборудования управляемого объемного и поверхностного нагрева материалов электронной техники : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук / В. И. Масычев, 1997. - 43 с. - Текст : непосредственный. Горбаренко В.А. Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Горбаренко, 1991. - 40 с. - Текст : непосредственный. Новоселов А.Р. Исследование возможности создания мозаичных фотоприемников без потерь информации в изображении / А. Р. Новоселов, 2011. - 23 с. - Текст : непосредственный. Логунов Л.С. Свойства медных проводников, синтезированных методом лазерно-индуцированного осаждения металлов из раствора / Л. С. Логунов, 2016. - 30 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Новиков А.А. Физико-химические основы синтеза медь-фосфатных стеклообразных покрытий при воздействии лазерного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени Л. / А. А. Новиков, 1990. - 40 с. - Текст : непосредственный. Кияк С.Г. Модификация поверхности полупроводников лазерными импульсами миллисекундного и секундного диапазонов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / С. Г. Кияк, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный. Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 6(1440) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной техникеч. 1. Лазерный эрозионный факел и его основные свойства / Л.А.Сурменко,Ю.Д.Самаркин,Т.Л.Якушева,Н.Н.Федосенко, 1989. - 52 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 10(1543) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной технике : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1972-1989 гг.Ч. 2. Осаждение из лазерного эрозионного факела,формирование покрытия,свойства пленок / Ю.Д.Самаркин,Л.А.Сурменко,Т.Л.Якушева, 1990. - 53 с. - Текст : непосредственный. Большепаев О.Ю. Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Большепаев, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Серегин Д.С. Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем / Д. С. Серегин, 2011. - 21 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Стоянов А.А. Влияние конструктивно-технологических факторов на сборку 3D БИС с использованием технологии перевернутого кристалла (flip-chip) : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. А. Стоянов, 2017. - 18 с. - Текст : непосредственный. Орешков М.В. Разработка измерительного комплекса для контроля и исследования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 01.04.10 / М. В. Орешков, 2012. - 19 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.А. Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом : автореф. дис. .. канд. физ.-м ат. наук: 02.00.04 / А. А. Смирнов, 2010. - 16 с. - Текст : непосредственный. Малыхин Е.М. Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.08 / Е. М. Малыхин, 2011. - 24 с. - Текст : непосредственный. Родионов И.А. Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.14 / И. А. Родионов, 2010. - 17 с. - Текст : непосредственный. Фортинский Ю.К. Управление разработкой и производством микросхем нового поколения двойного применения : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.13.10 / Ю. К. Фортинский, 2010. - 32 с. - Текст : непосредственный. Коломийцев А.С. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. С. Коломийцев, 2011. - 23 с. - Текст : непосредственный. Талалай М.С. Метод логико-топологического синтеза нанометровых КМОП схем на основе транзисторных шаблонов : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.12 / М. С. Талалай, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Сараев М.В. Структурный синтез гетерогенных подсистем обработки информации в многофункциональных программируемых аналого-цифровых системах : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / М. В. Сараев, 2012. - 20 с. - Текст : непосредственный. Сычева, Анастасия Александровна. Особенности физического распыления перспективных нанопористых материалов ионами инертных газов низкой энергии : специальность 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Сычева Анастасия Александровна, 2020. - 22 с. - Текст : непосредственный. Иванов, Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : специальность 05.27.01- Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Иванов Владимир Викторович, 2021. - 35 с. - Текст : непосредственный. Иванов, Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : специальность 2.2.2 - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук / Иванов Владимир Викторович, 2023. - 35 с. - Текст : непосредственный. Тихонова, Елена Дмитриевна. Исследование многократной литографии для улучшения разрешающей способности при производстве СБИС : специальность: 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Тихонова Елена Дмитриевна, 2025. - 22 с. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
