• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Баранов, А. М. Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. М. Баранов. - М., 2003. - 34 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 25-34 (116 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.76:658.562(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-417)

    Шифр в сводном ЭК: 032650d9fcc7aeeb70108e51359dd1be



    Заказ фрагмента документа ₽