• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Иванов, А. С. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.11 / А. С. Иванов. - СПб, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :Сев.-Зап.заоч.политехн.ин-т.Диссертац.совет К 063.06.02 Библиогр.:с. 17-20(23 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76:620.179(043)
    621-181.4(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-4430)

    Шифр в сводном ЭК: 399b94d9c16e8c0d7d30635748462962



    Заказ фрагмента документа ₽