• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Наумова, О. В. Наноразмерные структуры Si/Sio2 и сенсоры на их основе : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / О. В. Наумова. - Новосибирск, 2012. - 38 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-38 (40 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    50.09.37681.586.72(043)

    Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ -- НАНОПРОВОЛОЧНЫЕ ПРИБОРНЫЕ СТРУКТУРЫ
    Аннотация: Установление основных закономерностей формирования дефектов в наноразмерных структурах Si/SiO2, разработка подходов, позволяющих уменьшить их плотность, и разработка методов создания нанопроволочных приборных структур (на примере КНИ-нанопроволочных сенсоров) на основе слоев кремния на изоляторе.
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-3945)

    Шифр в сводном ЭК: 9f49381297ae9dbbe0b98cd331ef9d32



    Заказ фрагмента документа ₽