• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Обзоры по электронной технике : обзорная информация / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 19 - . - В надзаг.Департамент электрон. пром-сти. - Текст : непосредственный.
    Вып. 6(1487) : Плазмохимическое и ионно-химическое травление-полупроводниковых материалов типа А B : по данным отеч.и зарубеж.печати за 1966-1988 гг. / В.И.Светцов,Н.Г.Данилов,Т.А.Чеснокова. - 1989. - 47 с. : ил.

    Библиогр.:с.41-47(81 назв.).Сер.6,Материалы.

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.315.592.002:621.794

    Рубрики:
    Полупроводники -- Травление

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- ТРАВЛЕНИЕ
    Доп. точки доступа:
    Данилов, Н.Г.
    Чеснокова, Т.А.
    "Электроника", ин-т (Москва)
    Экз-ры полностью 12689565a91cc17c3e5e1126afd0c77f
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/15125/6(1487))

    Шифр в сводном ЭК: 12689565a91cc17c3e5e1126afd0c77f



    Заказ фрагмента документа ₽