• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Васильев, В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы : учеб. пособие / В. А. Васильев, Н. В. Громков, Т. Н. Рыжова. - Пенза : ПГУ, 2009. - 78 с. : ил. - Библиогр.: с. 71-78. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    45.53621.31-022.532
    81.13.30621.31-181.4

    Рубрики:
    Наноэлектромеханические системы
    Микроэлектромеханические системы

    Аннотация: Даны основные понятия, описаны области применения микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены преобразователи (датчики) механических величин, изготовленных по МЭМС-технологии. Описаны датчики излучений, тепловые, химические и биологические преобразователи.
    Доп. точки доступа:
    Громков, Н.В.
    Рыжова, Т.Н.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/71885)

    Шифр в сводном ЭК: d89c0c26ad597823d05a3b0808e525c7



    Заказ фрагмента документа ₽