Полное описание
> Васильев, В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы : учеб. пособие / В. А. Васильев, Н. В. Громков, Т. Н. Рыжова. - Пенза : ПГУ, 2009. - 78 с. : ил. - Библиогр.: с. 71-78. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 45.53 621.31-022.532 81.13.30 621.31-181.4
Рубрики: Наноэлектромеханические системы
Микроэлектромеханические системы
Аннотация: Даны основные понятия, описаны области применения микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены преобразователи (датчики) механических величин, изготовленных по МЭМС-технологии. Описаны датчики излучений, тепловые, химические и биологические преобразователи.
Доп. точки доступа: Громков, Н.В.
Рыжова, Т.Н.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/71885)>
Шифр в сводном ЭК: d89c0c26ad597823d05a3b0808e525c7
Гунькина Т.А. Теория и практика эксплуатации подземных хранилищ газа в слабосцементированных коллекторах / Т. А. Гунькина, В. А. Васильев, 2014. - 125 с. - Текст : непосредственный. Васильев В.А. Снижение потерь энергии в гибридном приводе автомобиля за счет уменьшения влияния пульсационной составляющей крутящего момента ДВС и применения рациональной схемы / В. А. Васильев, 2007. - 28 с. - Текст : непосредственный. Статистические методы и автоматизированные системы контроля качества / С. С. Гоц, К. Ш. Ямалетдинова, В. А. Васильев, Э. Р. Хиразов, 2005. - 207 с. - Текст : непосредственный. Васильев В.А. Введение в топологию / В. А. Васильев, 1997. - 127 с. - Текст : непосредственный. Васильев В.А. Лагранжевы и лежандровы характеристические классы / В. А. Васильев, 2000. - 312 с. - Текст : непосредственный. Некоторые вопросы применения современных информационных технологий в промышленности / Г. В. Фисичев, В. А. Васильев, А. Ф. Стрекалов, Р. А. Бирбраев, 2008. - 103 с. - Текст : непосредственный. Васильев А.В. Трудовые основы методологии ценообразования : методический материал / А. В. Васильев, В. А. Васильев, 1993. - 198 л. - Текст : непосредственный. Васильев В.А. Управление корпоративной собственностью на этапах жизненного цикла фирмы с помощью первичного публичного размещения акций : специальность 08.00.05 "Экономика и управление народным хозяйством (по отраслям и сферам деятельности в т.ч.:теория управления экономическими системами; макроэкономика; экономика, организация и управление предприятиями, отраслями, комплексами; управление инновациями; региональная экономика; логистика; экономика труда; экономика народонаселения и демография; экономика природопользования; землеустройство и др.", 08.00.10 "Финансы, денежное обращение и кредит" : диссертация на соискание ученой степени канд. экон. наук / В. А. Васильев, 2006. - 14 с. - Текст : непосредственный. Олейников А.В. Основы теории надежности : выставочные материалы / А. В. Олейников, В. А. Васильев, А. А. Суетова, 2014. - 143 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Воропаев П.В. Теоретические основы моделирования электромагнитного поля в электромеханических системах / П. В. Воропаев, 1997. - 99 с. - Текст : непосредственный. Дадинова Л.А. Малоугловое рентгеновское рассеяние в исследовании трехмерных структур бионанокомпозитов на основе ДНК и ряда белков, участвующих в катаболизме Escherichia coli в стационарной фазе роста / Л. А. Дадинова, 2016. - 24 с. - Текст : непосредственный. Бурцев В.А. Электрический взрыв проводников и его применение в электрофизических установках / В. А. Бурцев, Н. В. Калинин, А. В. Лучинский, 1990. - 289 c. - Текст : непосредственный. Синтез, свойства и применение графенов и слоистых наносистем : материалы временных коллективов, 2011. - 71 с. - Текст : непосредственный. Всеволодов, Николай Сергеевич. Изделия широкого потребления из дуралюминиевых труб / Н. С. Всеволодов, 1947. - 73, [3] с. - Текст : непосредственный. Соколова Е.М. Электрическое и электромеханическое оборудование: общепромышленные механизмы и бытовая техника / Е. М. Соколова, 2001. - 224 с. - Текст : непосредственный. Громов А.К. Электромеханическое преобразование энергии : учебное пособие / А. К. Громов, 2007. - 199 с. - Текст : непосредственный. Баев Б.П. Микропроцессорные системы бытовой техники / Б. П. Баев, 2005. - 480 с. - Текст : непосредственный. Дэвидсон Г.Л. Поиск неисправностей и ремонт электронной аппаратуры без схем / Г. Л. Дэвидсон, 2002. - 536 с. - Текст : непосредственный. Основы нанотехнологий : учебное пособие / Т. И. Абдуллин, Е. Ю. Акшаева, Т. И. Волкова [и др.] ; Ред. А. Ф. Дресвянников, 2011. - 236 с. - Текст : непосредственный. Васильев В.Н. Введение в основы теории электромеханических систем : монография / В. Н. Васильев, А. В. Галанин, 1993. - 44 c. - Текст : непосредственный. Воробьев А.Е. Импортозамещающие нанотехнологии в топливно-энергетическом комплексе России : выставочные материалы / А. Е. Воробьев, А. Д. Гладуш, 2014. - 158 с. - Текст : непосредственный. Поляков Ю.Н. Мастер- электрик / Ю. Н. Поляков, 2000. - 367 с. - Текст : непосредственный. Self-assemble, patttern formation and growth phenomena in nano-systems / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-line Molecular building blocks for nanotechnology / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-line Electron correlation in new materials and nanosystems / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-line Nanostructured soft matter / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-line Пестриков В.М. Домашний электрик и не только.. Кн. 1, 2005. - 219 с. - Текст : непосредственный. Гуськов Ю.В. Обоснование и разработка механизированной микроволновой яйцеварки : специальность 05.20.01 "Технологии и средства механизации сельского хозяйства" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Ю. В. Гуськов, 2007. - 19 с. - Текст : непосредственный. Нюхин Р.О. Моделирование и анализ электромагнитных полей в электромеханических системах с неферромагнитным ротором : специальность 05.13.18 "Математическое моделирование,численные методы и комплексы программ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Р. О. Нюхин, 2006. - 17 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Wong B.T. Thermal transport for applications in micro/nanomachining / B. T. Wong, M. P. Menguc, 2008 r=on-line. - Текст : электронный. Терин, Д. В. Нано- и микросистемы с обратимо перестраиваемыми размещением и свойствами элементов : учебное пособие для студентов и магистрантов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии", "Инноватика" : в двух частях. Ч. 1, 2018. - 79 с. - Текст : непосредственный. Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-ми моногр. 1 : Наноинженерия туннельных преобразователей / Н. Н. Балан [и др.], 2012. - 200 с. - Текст : непосредственный. Варадан В. ВЧ МЭМС и их применение : Монография / В.Варадан,К.Виной,К.Джозе;Пер. с англ. Ю.А. Заболотной, 2004. - 525 с. - Текст : непосредственный. MEMS-based integrated navigation / P. Aggarwal [et al.], 2010. - XIII, 197 p. - Текст : непосредственный. Microsystems / eds.: S. D. Senturia [et al.]. Vol. 17 : Dynamics of microelectromechanical systems / N. Lobontiu, 2007. - X, 402 p. - Текст : непосредственный. Васильев В.А. Нано- и микроэлектромеханические системы : учеб. пособие / В. А. Васильев, Н. В. Громков, Т. Н. Рыжова, 2009. - 78 с. - Текст : непосредственный. Микроэлектромеханические системы : учеб. пособие / С. П. Тимошенков [и др.], 2009. - 52 с. - Текст : непосредственный. Lobontiu N. Mechanics of microelectromechanical systems / N. Lobontiu, E. Garcia, 2005 r=on-line Гуртов В.А. Микроэлектромеханические системы : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, М. А. Беляев, А. Г. Бакшеева, 2016. - 141 с. - Текст : непосредственный. Monographs on the physics and chemistry of materials / ed. R. J. Brook [et al.]. 65 : Smart structures : blurring the distinction between the living and the nonliving / V. K. Wadhawan, 2007. - XXII, 341 p. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Б. Мехатроника и робототехника : Системы микроперемещений с пьезоэлектрическими приводами: Учеб. пособие / А.Б.Смирнов, 2003. - 160 с. - Текст : непосредственный. Micro & nano technologies: MNT / ed. J. Ramsden. 3 : Fabrication and design of resonant microdevices / B. Bahreyni, 2008. - XIII, 181 p. - Текст : непосредственный. Bertotti G. Nonlinear magnetization dynamics in nanosystems / G. Bertotti, I. D. Mayergoyz, C. Serpico, 2009. - XI, 466 p. - Текст : непосредственный. Jha A.R. MEMS and nanotechnology-based sensors and devices for communications, medical and aerospace applications / A. R. Jha, 2008. - XXIX,401 p. - Текст : непосредственный. Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications / ed. N. Setter, 2005. - XII, 414 p. - Текст : непосредственный. Разработка и моделирование МЭМС-устройств : учебное пособие / А. С. Шалимов, Е. С. Кочурина, В. В. Калугин, С. П. Тимошенков, 2019. - 144 с. - Текст : непосредственный. Проектный подход использования микроэлектромеханических систем (МЭМС) при изучении информационных технологий управления техническими системами : учебное пособие / В. А. Хакулов, В. А. Шаповалов, Ж. В. Карпова [и др.], 2023. - 114 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Корнеев, Владимир Станиславович. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения / В. С. Корнеев, Д. В. Чесноков, 2022. - 170 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Белоус, Анатолий Иванович. МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик, 2024. - 618 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Показать все результаты Contributions from the 3rd THERMINIC workshop,Fall 1997,Cannes / THERMINIC workshop (3rd ; 1997 ; Cannes) , 1998. - 399-523 p. p. - Текст : непосредственный. Electroceramic-based mems / SpringerLink (Online service), 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Micro electro mechanical system : материалы временных коллективов, 1990. - IX,227 p. мкфш. - Текст : непосредственный. Journal of Microelectromechanical Systems. - Журнал r=on-line. - Текст : электронный. Wong B.T. Thermal transport for applications in micro/nanomachining / B. T. Wong, M. P. Menguc, 2008 r=on-line. - Текст : электронный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
MEMS Product Engineering : монография / D. Ortloff, T. Schmidt, K. Hahn [et al.], 2014 r=on-line. - Текст : электронный. Кульчицкий А.П. Разработка автоматизированной системы управления автономными подвижными объектами на основе МЭМС / А. П. Кульчицкий, 2018. - 24 с. - Текст : непосредственный. Шалимов А.С. Проектирование МЭМС-устройств : учебное пособие / А. С. Шалимов, Е. С. Кочурина; под редакцией С. П. Тимошенкова, 2018. - 108 с. - Текст : непосредственный. Эннс Я.Б. Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Я. Б. Эннс, 2018. - 18 с. - Текст : непосредственный. Лукин А.В. Нелинейная динамика и устойчивость упругих элементов нано- и микросистемной техники в связанных полях : специальность 01.02.04 - Механика деформируемого твердого тела: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. В. Лукин, 2018. - 34 с. - Текст : непосредственный. Терин, Д. В. Нано- и микросистемы с обратимо перестраиваемыми размещением и свойствами элементов : учебное пособие для студентов и магистрантов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии", "Инноватика" : в двух частях. Ч. 1, 2018. - 79 с. - Текст : непосредственный. Gatzen H.H. Micro and Nano Fabrication : Tools and Processes / H. H. Gatzen, V. Saile, J. Leuthold, 2015 r=on-line. - Текст : электронный. Фадеев С.И. Моделирование микроэлектромеханических СВЧ резонаторов типа платформа / С. И. Фадеев, Э. Г. Косцов, Д. О. Пиманов, 2015. - 36 с. - Текст : непосредственный. Aryan N.P. Design and Modeling of Inductors, Capacitors and Coplanar Waveguides at Tens of GHz Frequencies / N. P. Aryan, 2015 r=on-line. - Текст : электронный. Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий / Новосиб. гос. архитектур.-строит. ун-т. Вып. 4 : IV Всероссийская конференция, Новосибирск, 6-8 июня 2012 г. : докл. конф. / под ред. Р. Я. Рудяка, 2012. - 360 с. - Текст : непосредственный. 2001 microelectromechanical systems conference, Berkeley(Ca), 24-26 Aug., 2001 / MEMS, 2002. - 226 p. - Текст : непосредственный. Калач Г.Г. Модели и алгоритмы интеллектуальной навигации для систем управления автономных подвижных объектов : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / Г. Г. Калач, 2018. - 18 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽