• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Батов, Д. В. Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.16.03 / Д. В. Батов. - М., 2000. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 21-22(8 назв.)

    ГРНТИ УДК
    61.31.47661.665.1(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-7971)

    Шифр в сводном ЭК: 1003c0a2a652203da0a4baac07c16df8



    Заказ фрагмента документа ₽