• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Жаркой, М. Ф. Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем : учеб. пособие / М. Ф. Жаркой ; Балт. гос. техн. ун-т "Военмех". - СПб. : БГТУ, 2016. - 123 с. : ил. - Библиогр.: с. 121-122 (16 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77-047.84

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Балтийский гос. технический ун-т "Военмех" (Санкт-Петербург)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-16/35145)

    Шифр в сводном ЭК: 5cf211ff436b4beaf9688e8dbc8f1040



    Заказ фрагмента документа ₽