Полное описание
Смирнов, А. А.
ГРНТИ УДК 47.13.33 621.3.049.771.14-047.84(043)
Кл.слова (ненормированные): АРГОН -- ВОДОРОД -- ГАЛОГЕНВОДОРОДЫ -- ГЕЛИЙ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- НЕРАВНОВЕСНАЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА -- ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-27389)
Шифр в сводном ЭК: 2ac4a2f243ccf05c3bedb40be41cfacc
Смирнов А.А. Масс-спектрометрическое исследование кинетики молекулярной и ионной сублимации монокристаллов галогенидов щелочных металлов (LiF, NaCl, KCL, KBr, CsI) : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук / А. А. Смирнов, 2000. - 16 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.А. Снижение вредных выбросов в камерах сгорания мощных энергетических ГТУ на базе расчетных и экспериментальных исследований : специальность 05.04.12 "Турбомашины и комбинированные турбоустановки" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / А. А. Смирнов, 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный. Инженерная геодезия. Геодезические задачи и полевые работы : учебное пособие / Н. Н. Загрядская, Е. Б. Махаленко, Н. Д. Беляев [и др.], 2008. - 192 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.А. Методика и технические решения для оптимизации автоматического включения межсистемных линий электропередачи : специальность 05.14.02 "Электростанции и электроэнергетические системы" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. А. Смирнов, 2002. - 19 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.А. Разработка прикладного программного обеспечения в среде FOXBASE / А. А. Смирнов, 1993. - 85 c. - Текст : непосредственный. Персональная спутниковая связь / А. М. Аносов, В. В. Герасимов, А. В. Колосов ; Ред. А. А. Смирнов, 1996. - 97 c. - Текст : непосредственный. Смирнов А.А. Основы автоматизации целлюлозно-бумажного и лесохимического производств, 1974. - 367 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный. Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный. Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Серегин Д.С. Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем / Д. С. Серегин, 2011. - 21 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Стоянов А.А. Влияние конструктивно-технологических факторов на сборку 3D БИС с использованием технологии перевернутого кристалла (flip-chip) : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. А. Стоянов, 2017. - 18 с. - Текст : непосредственный. Орешков М.В. Разработка измерительного комплекса для контроля и исследования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 01.04.10 / М. В. Орешков, 2012. - 19 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.А. Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом : автореф. дис. .. канд. физ.-м ат. наук: 02.00.04 / А. А. Смирнов, 2010. - 16 с. - Текст : непосредственный. Малыхин Е.М. Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.08 / Е. М. Малыхин, 2011. - 24 с. - Текст : непосредственный. Родионов И.А. Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.14 / И. А. Родионов, 2010. - 17 с. - Текст : непосредственный. Фортинский Ю.К. Управление разработкой и производством микросхем нового поколения двойного применения : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.13.10 / Ю. К. Фортинский, 2010. - 32 с. - Текст : непосредственный. Коломийцев А.С. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. С. Коломийцев, 2011. - 23 с. - Текст : непосредственный. Талалай М.С. Метод логико-топологического синтеза нанометровых КМОП схем на основе транзисторных шаблонов : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.12 / М. С. Талалай, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Сараев М.В. Структурный синтез гетерогенных подсистем обработки информации в многофункциональных программируемых аналого-цифровых системах : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / М. В. Сараев, 2012. - 20 с. - Текст : непосредственный. Сычева, Анастасия Александровна. Особенности физического распыления перспективных нанопористых материалов ионами инертных газов низкой энергии : специальность 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Сычева Анастасия Александровна, 2020. - 22 с. - Текст : непосредственный. Иванов, Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : специальность 05.27.01- Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Иванов Владимир Викторович, 2021. - 35 с. - Текст : непосредственный. Иванов, Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : специальность 2.2.2 - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук / Иванов Владимир Викторович, 2023. - 35 с. - Текст : непосредственный. Тихонова, Елена Дмитриевна. Исследование многократной литографии для улучшения разрешающей способности при производстве СБИС : специальность: 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Тихонова Елена Дмитриевна, 2025. - 22 с. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
