• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ануров, А. Е. Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Е. Ануров. - 2018. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (13 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    55.49.51629.78.05:621.38(043)

    Кл.слова (ненормированные): КОСМИЧЕСКИЕ ЛЕТАТЕЛЬНЫЕ АППАРАТЫ -- УСТРОЙСТВА МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ -- ЭЛЕКТРОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-2786)

    Шифр в сводном ЭК: e198794e03e5c645fea9c58623d29954



    Заказ фрагмента документа ₽