• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Петлицкий, А. Н. Особенности геттерирования примесей в кислородсодержащем кремнии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. Н. Петлицкий. - 2004. - 21 с. - Библиогр.: с. 16-18(20 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.382.004.6(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар05-6688)

    Шифр в сводном ЭК: d1c31e53b0d0864e25c8fc3460e8f82f



    Заказ фрагмента документа ₽