Полное описание
Rogers, J. A. URL: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470405789 . - Загл. с титул. экрана. - ISBN 978-0-470-40578-9. - Текст : электронный.
ГРНТИ УДК 47.13.33 621.3.049.76-047.84 47.33.37 621.3.049.77-047.84:776
Рубрики: Микроэлектронные приборы -- Производство
Фотолитография
Доп. точки доступа: Lee, H. H.
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/book/10.1002/9780470405789
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ?-807261758)
Шифр в сводном ЭК: c71baf10049e3098f731734cbdfdfdcc
Полупроводниковая микроэлектроника : сборник научных трудов / Новосибирский электротехнический ин-т, 1989. - 113,5 c. c. - Текст : непосредственный. Зотов А.А. Физические основы устройств функциональной электроники / А. А. Зотов, Т. И. Чернышова, В. Н. Чернышов, 1993. - 208 c. - Текст : непосредственный. Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : материалы временных коллективов, 2014. - 240 с. - Текст : непосредственный. Щука А. А. Наноэлектроника / А. А. Щука, 2007. - 463 с. - Текст : непосредственный. Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 1, 2007. - 450 с. - Текст : непосредственный. Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 2, 2007. - 310 с. - Текст : непосредственный. The second international workshop on surfaces..,Hawaii,7-12 Dec.1997 / Workshop on surfaces and interfaces of mesoscopic devices (2nd ; 1997 ; Hawaii) , 1998. - 183 p. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Очерки истории российской электроники. Вып. 5 : 50 лет отечественной микроэлектронике. Краткие основы и история развития / Б. М. Малашевич, 2013. - 799 с. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Орлова М.Н. Наноэлектроника : выставочные материалы / М. Н. Орлова, И. В. Борзых, 2013. - 49 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный. Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный. Гетеромагнитная микроэлектроника : Сб. науч. тр. / Рос. агентство по системам упр. Вып. 10 : Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Прикладные аспекты. Экономика. Методические аспекты физического образования / под ред. А. В. Ляшенко, 2011. - 147 с. - Текст : непосредственный. Ефимов И.Е. Основы микроэлектроники : учебное пособие / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, 2008. - 384 с. - Текст : непосредственный. Комаров А.С. Управление техническим уровнем высокоинтегрированных электронных систем (научно-технологические проблемы и аспекты развития) / А. С. Комаров, Д. В. Крапухин, Е. И. Шульгин ; Ред. П. П. Мальцев, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный. Бобров И.И. Физические основы микроэлектроники : Курс лекций. Ч. 1, 1995. - 81 с. - Текст : непосредственный. Беседина К.Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур / К. Н. Беседина, 2014. - 16 с. - Текст : непосредственный. Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics . - Журнал выходит с 2006г. Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Боровцов П.В. Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб.пособие / П.В.Боровцов, 1995. - 58 c. - Текст : непосредственный. Баканов Г.Ф. Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению 654300 "Проектирование и технология электронных средств" / Г.Ф.Баканов,Г.В.Петрова, 2002. - 35 с. - Текст : непосредственный. Rogers J. A. Unconventional nanopatterning techniques and applications / J. A. Rogers, H. H. Lee, 2008 r=on-line. - Текст : электронный. Ануфриенко В.В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки : Учеб.пособие по курсу "Технол.процессы и оборудование микроэлектроники" / В.В.Ануфриенко, 1998. - 66 с. - Текст : непосредственный. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный. Nd laser fifth harmonic interaction with polymer films / A.A.Babin,N.M.Bityurin,A.V.Polyakov и др., 1992. - 18 p. - Текст : непосредственный. Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный. Chung S.-J. Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists / S.-J.Chung,H.Hein,J.Schulz, 1998. - 94 S. - Текст : непосредственный. Ивин В.В. Использование математического моделирования в исследовании, разработке и оптимизации фотолитографических процессов / В.В.Ивин,Т.М.Махвиладзе, 2000. - 30 c. - Текст : непосредственный. Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный. Технология и оборудование полиграфического производства. Фототехнология в полиграфии и электронике : Межвед. сб. науч. тр. / РСФСР. Гос. ком. по делам науки и высшей школы, 1991. - 113 с. - Текст : непосредственный. Масленицын С.Ф. Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом / С.Ф.Масленицын,В.Б.Световой, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный. Brauch I.H. Wissenbasierte Modellierung des LIGA-Fertigungsprozesses : Diss. / I.H.Brauch, 1994. - 89 S. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный. Манукянц А.Р. Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем / А. Р. Манукянц, 2010. - 23 с. - Текст : непосредственный. Micro-nano technology XIII : материалы временных коллективов / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow), 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный. Моисеев К.М. Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники / К. М. Моисеев, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Мир материалов и технологий. 6(14) : Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Д. М. Мартинес-Дуарт, Р. Д. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда; пер. с англ. А. В. Хачояна; под ред. Е. Б. Якимова, 2007. - 367 с. - Текст : непосредственный. Захарова И.Б. Физические основы микро- и нанотехнологий : выставочные материалы / И. Б. Захарова, 2010. - 200 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания
Приложение
для Android
