• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Исследование газового травления в системе Ga As-As Clз-H2 / Ю.В.Жиляев,А.Ю.Куликов,Г.Р.Маркарян и др. - Л. : [б. и.], 1989. - 7 с. - (Препринт / Физико-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе(Ленинград) ; 1412). - 200 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.315.592.002:621.794(04)

    Рубрики:
    Полупроводники -- Травление

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- ТРАВЛЕНИЕ
    Доп. точки доступа:
    Жиляев, Ю.В.
    Куликов, А.Ю.
    Маркарян, Г.Р.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/14715/1412)

    Шифр в сводном ЭК: 91a6d363496946d0294f90cc5d257734



    Заказ фрагмента документа ₽