• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и наноэлектронике / Ред. Ю. П. Маишев ; Отв.ред. Ю.П.Маишев. - М. : Наука ; [Б. м.] : Физматлит, 1999. - 185 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.15). - 200 экз. - ISBN 5-02-015315-X. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.:Рос.АН. Библиогр. в конце ст.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002
    621.315.592.002

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Полупроводники -- Обработка

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИК -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Маишев, Ю.П.\ред.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/15)

    Шифр в сводном ЭК: f2fd700ee281f2c809acec896a69f878



    Заказ фрагмента документа ₽