Приложение
для AndroidПолное описание
Achenbach, S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr. - Karlsruhe, 2000. - VI,138 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 6576). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:c.113-122
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621-181.4(043) |
Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Pantenburg, F.J.
Mohr, J.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6576)
Шифр в сводном ЭК: 56f124fc66487f8b6e43c6529ceb21ae
Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Krippner P. Hochempfindliche LIGA-Mikrospektrometersysteme fur den Infrarotbereich / P. Krippner, J. Mohr, 1999. - III,111 S. S. - Текст : непосредственный.
Strohrmann M. Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik / M.Strohrmann,J.Mohr,J.Schulz, 1995. - 118 S. - Текст : непосредственный.Ruzzu A.C.M. Entwicklung einer opto-elektro-mechanischen 2x2 Schaltmatrix in LIGA-Technik fur die optische Telekommunikation / A.C.M.Ruzzu,U.Wallrabe,J.Mohr, 2000. - V,126 S. S. - Текст : непосредственный.Achenbach S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr, 2000. - VI,138 S. S. - Текст : непосредственный.Schumacher K. Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik : Diss. / K.Schumacher,U.Wallrabe,J.Mohr, 1999. - iii,110 S. S. - Текст : непосредственный.Burbaum C. Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik / C.Burbaum,J.Mohr, 1991. - 64 S. - Текст : непосредственный.Anderer B. Grundlagen fur die rontgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlangen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter / B.Anderer,W.Ehrfeld,J.Mohr, 1990. - 95 S. - Текст : непосредственный.Muller A. Aufbau hybrider mikrooptischer Funktionsmodule fur die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren : Diss. / A.M@:uller,J.G@:ottert,J.Mohr, 1996. - 94 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7355 : UV-induzierte Brechzahlanderung zur Herstellung von Wellenleitern und Integration von Siliziumphotodioden : Diss. / Y. Ichihashi, T. Mappes, J. Mohr, 2007. - VI, 91 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7234 : Mikrooptische Sensoren nach dem chromatisch konfokalen Messprinzip : diss. / P.L@:ucke, A.Last, J.Mohr, 2006. - VI,61 S. - Текст : непосредственный.Wallrabe U. Entwicklung,Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren / U.Wallrabe,P.Bley,J.Mohr, 1992. - 83 S. - Текст : непосредственный.Gottert J. Grundlagen und Anwendungsmoglichkeiten der LIGA-Technik in Mikrooptik : Diss. / J.Gottert,J.Mohr, 1993. - 76 S. - Текст : непосредственный.Zanghellini J. Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen / J.Zanghellini,A.El-Kholi,J.Mohr, 1998. - 74 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7211 : Grossflachige quasi freistrahloptische Mikrospektrometer : diss. / C.-J.Moran-Iglesias, A.Last, J.Mohr, 2006. - VI, 87 S. - Текст : непосредственный.Rogge B. Entwicklung,Optimierung und Test von elektromagnetischen Linearaktoren basierend auf LIGA-Mikrotechnik : Diss. / B.Rogge,J.Schulz,J.Mohr, 1996. - 79 S. - Текст : непосредственный.Muller C. Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik / C.M@:uller,J.Mohr, 1995. - II,84 S. S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6885 : Fehllicht in LIGA-Mikrospektrometern : Diss. / A.Last,J.Mohr, 2003. - II,115 S. S. - Текст : непосредственный.Ziegler P. Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens fur die optische Ubertragungstechnik : Diss. / P.Ziegler,J.Wengelink,J.Mohr, 1999. - V,93 S. S. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Kraus S. Xerogelstrukturen als Sensormatrices : монография / S. Kraus, J. Goschnick ; Ed: C. A. Melendres, A. Tadjeddine, 1996. - 99 S. - Текст : непосредственный.Muller S. Messungen an PZT-Keramiken / S. Muller, 1999. - 33 S. - Текст : непосредственный.Beuchle G. Hydrolyse von Sodalith zur in situ Konditionierung saurer Porenwasser mit technischen Basen durch Neutralisation und Sekundarphasenbildung : сборник научных трудов / G. Beuchle, 1999. - 151 S. - Текст : непосредственный.Stieglitz R. Kann man das Erdmagnetfeld im Labor simulieren? / R. Stieglitz, U. Muller, 1999. - 29 S. - Текст : непосредственный.Bernatzki A. Geometrische Interpretation neuronaler Netze / A. Bernatzki, 1999. - 123 S. - Текст : непосредственный.Seiter Ch. Numerische Simulation turbulenter Auftriebsstromungen in horizontalen Kanalen : сборник научных трудов / Ch. Seiter, 1995. - XI,172 S. S. - Текст : непосредственный.Compatibility of 31 metals,alloys and coatings with static Pb-17Li eutectic mixture / H. Feuerstein, H. Grabner, J. Oschinski, J. Beyer, 1995. - 161 p. - Текст : непосредственный.Schirra M. Das Umwandlungsverhalten der hochwarmfesten martensitischen Stahle mit 8-14 Cr / M. Schirra, H. Finkler, 1995. - 38 S. - Текст : непосредственный.OPTIFER,ein weiterer Schritt zur Entwicklung niedrigaktivierender martensitischer Stahle : сборник научных трудов / M. Schirra, K. Ehrlich, S. Heger, M. T. Hernandez, 1995. - 41 S. - Текст : непосредственный.Lindemann K. Objektorientierte Modellierung am Beispiel eines Mikrosystems zur Messung von Beschleunigungen / K. Lindemann, H. Eggert, W. Suss, 1995. - II,102 S. S. - Текст : непосредственный.Scaffidi-Argentina F. Modellierung des Schwellens und der Tritium-Freisetzung von bestrahltem Beryllium : сборник научных трудов / F. Scaffidi-Argentina, 1995. - XIII,139 S. S. - Текст : непосредственный.Wien A. Ein Beitrag zur Analyse von quasi-optischen Wellentypwandlern in Hochleistungsgyrotrons : сборник научных трудов / A. Wien, 1995. - 129 S. - Текст : непосредственный.Hermanutz D. Neutroneninduzierte Verlagerungsschadigung von Beryllium im Blanket eines (d,t)-Fusionsreaktors / D. Hermanutz, 1995. - V,101 S. S. - Текст : непосредственный.Chung-I C. Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch lonenimplantation : сборник научных трудов / C. Chung-I, 1995. - 254 S. - Текст : непосредственный.Gruber C. Numerische Simulation von Gyrotronkanonen mit BFCPIC und BFCRAY : сборник научных трудов / C. Gruber, 1995. - II,69 S. S. - Текст : непосредственный.Reimann J. Report of working group MHD for the Blanket Concept Selection Exercise (BCSE) / J. Reimann, G. Benamati, R. Moreau, 1995. - 48 p. - Текст : непосредственный.Bethge K. Gerate zum Auffinden und Bewerten von holzzersetzender Faule in Baumen / K. Bethge, C. Mattheck, E. Hunger, 1995. - 36 S. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Elzer M. Die Vieldraht-Proportionalkammern von KASCADE bei Luftschauern mit hoher Teilchendichte / M. Elzer, 1996. - 60 S. - Текст : непосредственный.Kuntz M. Bestimmung der Hohenverteilung stratospharischer Spurengase aus Emissionsspektren eines bodengebundenen Millimeterwellen-Radiometers / M. Kuntz, 1996. - IX,135 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЕвстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный.Быркин В.А. Корреляционные эффекты в системе несмачивающая жидкость - нанопористая среда / В. А. Быркин, 2013. - 28 с. - Текст : непосредственный.Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный.Buchberger P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer, 1997. - VI,119 S. S. - Текст : непосредственный.
Burg B. Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit bebiebiger, ebener Oberflachengeometrie : Diss / B.Burg, 1991. - 117 S. - Текст : непосредственный.Жуков А.А. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / А. А. Жуков, 2003. - 52 с. - Текст : непосредственный.Лысенко И.Е. Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / И. Е. Лысенко, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный.Гринькин Е.А. Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.16.09 / Е. А. Гринькин, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Rogge T. Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung : Diss. / T.Rogge,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,123 S. S. - Текст : непосредственный.Kaiser S.C. Entwicklung eines magnetisch-induktiven Mikroventils nach dem AMANDA - Verfahren : Diss. / S.C.Kaiser, 2000. - ii,75 S. S. - Текст : непосредственный.Achenbach S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr, 2000. - VI,138 S. S. - Текст : непосредственный.Плотников А.А. Обеспечение качества поверхностного слоя миниатюрных деталей и повышение производительности алмазного микровыглаживания на основе динамической стабилизации процесса : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.02.08 / А. А. Плотников, 2005. - 18 с. - Текст : непосредственный.Кравченко И.В. Разработка и исследование методов и средств проектирования микросистем с интегральными термоэлементами : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / И. В. Кравченко, 2005. - 23 с. - Текст : непосредственный.Иванов А.С. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.11 / А. С. Иванов, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Заказ фрагмента документа ₽