• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Никишина, С. В. Исследование и моделирование процессов накопления, обработки и анализа массивов технологических данных в области микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.18 / С. В. Никишина. - М., 2002. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 15-16(13 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002.5-52(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-8863)

    Шифр в сводном ЭК: d75309478d4acd5b7d1ecad08993c304



    Заказ фрагмента документа ₽