• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011 - . - Текст : непосредственный.
    10 : Элионные процессы и нанотехнологии / Ю. В. Панфилов. - 2011 (Москва). - 127 с. : ил. - Библиогр.: с. 125 (8 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7038-3501-2

    ГРНТИ УДК
    81.13.30620.3

    Рубрики:
    Нанотехнологии

    Аннотация: Методы построения рациональной схемы технологических процессов с использованием операций нанесения тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменного травления, ионной имплантации и контроль характеристик обрабатываемых изделий и параметров технологического процесса.
    Доп. точки доступа:
    Шахнов, В.А.\ред.\
    Экз-ры полностью 6939f894c6014a9d80765e9dc598c197
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/66785/10)

    Шифр в сводном ЭК: 6939f894c6014a9d80765e9dc598c197



    Заказ фрагмента документа ₽