Приложение
для AndroidПолное описание
Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011 - . - Текст : непосредственный.
9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков. - 2011 (Москва). - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 171 (10 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7038-3500-5
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.3.049.77-047.84:776 | |
| 81.13.30 | 620.3 |
Рубрики:
Электронолитография
Нанотехнологии
Аннотация: Рассмотрены основные вопросы технологии литографических процессов, являющихся основой для формирования микроэлектронных структур.
Доп. точки доступа:
Шахнов, В.А.\ред.\
Родионов, И.А.
Цветков, Ю.Б.
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/66785/9)
Шифр в сводном ЭК: a5ed1ced38168fffdc8d0f0bda842df2
Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 13 : Автоматизированное проектирование наносистем / А. И. Власов [и др.], 2011. - 183 с. - Текст : непосредственный.Электромагнитная совместимость преобразователей напряжения в составе электронной аппаратуры : препринт / Л. Д. Певзнер, В. Г. Костиков, В. А. Шахнов [и др.], 2010. - 37 с. - Текст : непосредственный.Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры / К. И. Билибин, А. И. Власов, Л. В. Журавлева [и др.] ; Ред. В. А. Шахнов, 2005. - 534 с. - Текст : непосредственный.
Костиков В.Г. Источники электропитания электронных средств. Схемотехника и конструирование : Учебник для студентов вузов по направлению "Проектирование и технология электрон. средств", "Конструирование и технология электрон.-вычисл. средств", "Радиотехника" / В. Г. Костиков, Е. М. Парфенов, В. А. Шахнов, 2001. - 343 с. - Текст : непосредственный.Родионов И.А. Фотокаталитическая активность слоистых перовскитоподобных оксидов в процессах, сопровождающихся выделением водорода в водно-спиртовых системах : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.04 / И. А. Родионов, 2012. - 20 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков, 2011. - 175 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 2 : Технологические процессы в наноинженерии / П. И. Варламов, К. А. Елсуков, В. В. Макарчук, 2011. - 175 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 8 : Физико-механические компоненты наносистем / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов, 2011. - 182 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 17 : САПР наносистем / Л. А. Зинченко, 2011. - 219 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 12 : Оптическая микроскопия / А. И. Власов, К. А. Елсуков, И. А. Косолапов, 2011. - 181 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 5 : Проектирование электронной элементной базы наносистем / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, 2011. - 156 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 10 : Элионные процессы и нанотехнологии / Ю. В. Панфилов, 2011. - 127 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 14 : Основы моделирования микро- и наносистем / А. И. Власов, А. В. Назаров, 2011. - 142 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 3 : Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии / Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов, 2011. - 191 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 1 : Методы микроскопии / А. И. Власов, К. А. Елсуков, Ю. В. Панфилов, 2011. - 278 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Наноинженерия : сборник / Московский гос. технический ун-т им. Н. Э. Баумана, 2010. - 212 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков, 2011. - 175 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : ежемес. науч.-технич. и произв. журн. / Машиностроение. - Журнал выходит с 2011г. - Текст : непосредственный.Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), 2012. - 457 с. - Текст : непосредственный.
Дадинова Л.А. Малоугловое рентгеновское рассеяние в исследовании трехмерных структур бионанокомпозитов на основе ДНК и ряда белков, участвующих в катаболизме Escherichia coli в стационарной фазе роста / Л. А. Дадинова, 2016. - 24 с. - Текст : непосредственный.Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Синтез, свойства и применение графенов и слоистых наносистем : материалы временных коллективов, 2011. - 71 с. - Текст : непосредственный.Основы нанотехнологий : учебное пособие / Т. И. Абдуллин, Е. Ю. Акшаева, Т. И. Волкова [и др.] ; Ред. А. Ф. Дресвянников, 2011. - 236 с. - Текст : непосредственный.Воробьев А.Е. Импортозамещающие нанотехнологии в топливно-энергетическом комплексе России : выставочные материалы / А. Е. Воробьев, А. Д. Гладуш, 2014. - 158 с. - Текст : непосредственный.Self-assemble, patttern formation and growth phenomena in nano-systems / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-lineMolecular building blocks for nanotechnology / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineElectron correlation in new materials and nanosystems / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineNanostructured soft matter / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineЗятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Генералов М.Б. Криохимическая нанотехнология / М. Б. Генералов, 2006. - 325 с. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Ковалев А.И. Прогнозирование рынка нанопродуктов / А. И. Ковалев, 2013. - 182 с. - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В. А. Жабрев, В. Т. Калинников, В. И. Марголин [и др.], 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный.Шевердяев О.Н. Нанотехнология и наноматериалы : выставочные материалы / О. Н. Шевердяев, И. М. Ибрагимов, 2012. - 122 с. - Текст : непосредственный.Нанонаука и нанотехнологии. Энциклопедия систем жизнеобеспечения / Пер. Н. Н. Выхристенко ; Ред. О. Осама, 2015. - 1000 с. - Текст : непосредственный.Арсланов В.В. Нанотехнология. Коллоидная и супрамолекулярная химия / В. В. Арсланов, 2015. - 387, [13] с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия-2011 : материалы временных коллективов, 2011. - 226 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Рос. АН. Дальневосточ. отд-ние. Т. 4, 2011. - 229 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыWissenschaftsethik und Technikfolgenbeurteilung. Bd. 27 : Nanotechnology : assesment and perspectives / H. Brune [et al.], 2006. - 492 p. - Текст : непосредственный.Генералов М.Б. Криохимическая нанотехнология / М. Б. Генералов, 2006. - 325 с. - Текст : непосредственный.Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В. А. Жабрев, В. Т. Калинников, В. И. Марголин [и др.], 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный.Шевердяев О.Н. Нанотехнология и наноматериалы : выставочные материалы / О. Н. Шевердяев, И. М. Ибрагимов, 2012. - 122 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Российская академия наук. Дальневосточное отделение. Т. 2, 2009. - 199 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Рос. АН. Дальневосточ. отд-ние. Т. 4, 2011. - 229 с. - Текст : непосредственный.Мансури Г.А. Принципы нанотехнологии. Исследование конденсированных веществ малых систем на молекулярном уровне / Г. А. Мансури, 2008. - 317 с. - Текст : непосредственный.Рамбиди Н.Г. Физические и химические основы нанотехнологий / Н. Г. Рамбиди, А. В. Березкин, 2008. - 454 с. - Текст : непосредственный.Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный.Технологии углеродных материалов и структур в наноинженерии : выставочные материалы / К. А. Воротилов, Е. Н. Ивашов, П. С. Кузнецов, П. А. Лучников, 2015. - 162 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии в Тюменской области: проблемы правовой охраны и коммерциализации : материалы временных коллективов, 2009. - 120 с. - Текст : непосредственный.Balaz P. Mechanochemistry in nanoscience and minerals engineering / P. Balaz, 2008 r=on-line. - Текст : электронный.Петров Е.А. Детонационный синтез наноматериалов. Наноалмазы и нанотехнологии : монография / Е. А. Петров, 2015. - 259 с. - Текст : непосредственный.Попов А.М. Вычислительные нанотехнологии : учебное пособие / А. М. Попов, 2009. - 280 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии и наноматериалы Пермского края : сборник / Пермский центр науч.-технической информации, 2009. - 106 с. - Текст : непосредственный.Современные проблемы нанотехнологии : учебное пособие / А. А. Попович, И. Н. Мутылина, Т. А. Попович, В. В. Андреев, 2008. - 404 с. - Текст : непосредственный.Фесюн А.В. Становление наноиндустрии в России: причины, проблемы, перспективы / А. В. Фесюн, 2014. - 411 с. - Текст : непосредственный.Laurencin C.T. Nanotechnology and tissue engineering: The scaffold / C. T. Laurencin, L. S. Nair, 2008. - XVII, 359 p. - Текст : непосредственный.Hybrid nanocomposites for nanotechnology. Electronic, optical, magnetic and biomedical applications / Ed. L. Merhari, 2009. - XII, 847 p. - Текст : непосредственный.Ashby M. F. Nanomaterials, nanotechnologies and design. An introduction for engineers and architects / M. F. Ashby, P. Ferreira, D. L. Schodek, 2009. - XIX, 540 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыДадинова Л.А. Малоугловое рентгеновское рассеяние в исследовании трехмерных структур бионанокомпозитов на основе ДНК и ряда белков, участвующих в катаболизме Escherichia coli в стационарной фазе роста / Л. А. Дадинова, 2016. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftsethik und Technikfolgenbeurteilung. Bd. 27 : Nanotechnology : assesment and perspectives / H. Brune [et al.], 2006. - 492 p. - Текст : непосредственный.Основы нанотехнологий : учебное пособие / Т. И. Абдуллин, Е. Ю. Акшаева, Т. И. Волкова [и др.] ; Ред. А. Ф. Дресвянников, 2011. - 236 с. - Текст : непосредственный.Self-assemble, patttern formation and growth phenomena in nano-systems / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-lineMolecular building blocks for nanotechnology / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineElectron correlation in new materials and nanosystems / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineГенералов М.Б. Криохимическая нанотехнология / М. Б. Генералов, 2006. - 325 с. - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В. А. Жабрев, В. Т. Калинников, В. И. Марголин [и др.], 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный.Шевердяев О.Н. Нанотехнология и наноматериалы : выставочные материалы / О. Н. Шевердяев, И. М. Ибрагимов, 2012. - 122 с. - Текст : непосредственный.Нанонаука и нанотехнологии. Энциклопедия систем жизнеобеспечения / Пер. Н. Н. Выхристенко ; Ред. О. Осама, 2015. - 1000 с. - Текст : непосредственный.Арсланов В.В. Нанотехнология. Коллоидная и супрамолекулярная химия / В. В. Арсланов, 2015. - 387, [13] с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Российская академия наук. Дальневосточное отделение. Т. 2, 2009. - 199 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия-2011 : материалы временных коллективов, 2011. - 226 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Рос. АН. Дальневосточ. отд-ние. Т. 4, 2011. - 229 с. - Текст : непосредственный.Journal of Computational and Theoretical Nanoscience. - Журнал выходит с 2004г. - Текст : электронный.Journal of Nanoscience and Nanotechnology. - Журнал выходит с 2001г.Nanoscience and Nanotechnology Letters. - Журнал выходит с 2009г.Мансури Г.А. Принципы нанотехнологии. Исследование конденсированных веществ малых систем на молекулярном уровне / Г. А. Мансури, 2008. - 317 с. - Текст : непосредственный.Рамбиди Н.Г. Физические и химические основы нанотехнологий / Н. Г. Рамбиди, А. В. Березкин, 2008. - 454 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽