• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Лазерная технология интегральных схем / Ю.Х.Гукетлев,А.А.Васенков,А.Г.Гарицын,В.В.Федоренко. - М. : Радио и связь, 1991. - 4000 экз. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.249-274

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84:621.37

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Обработка лазерная

    Доп. точки доступа:
    Гукетлев, Ю.Х.
    Васенков, А.А.
    Гарицын, А.Г.
    Федоренко, В.В.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-91/93439)

    Шифр в сводном ЭК: 015bd43401b765c1d696afc03fc7573e



    Заказ фрагмента документа ₽