• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Трубин, И. С. Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. С. Трубин. - М., 1994. - 22 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.гос.акад.тонкой хим.технологии им.М.В.Ломоносова. Библиогр.: с.22(4 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.01.76331.453:621.38(043)
    504.06(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-2646)

    Шифр в сводном ЭК: 0cd6ec9d7d2c2cc3ff0728b9cf876665



    Заказ фрагмента документа ₽