• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Филатова, М. С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова. - М., 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. : АН России,Физ.-технол.ин-т.Библиогр.:с. 21-23

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84:776(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-6128)

    Шифр в сводном ЭК: 23a210bc1d8cfe1ac890ab64418c73b4



    Заказ фрагмента документа ₽