• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Рекомбинация неравновесных носителей заряда в кремнии, имплантированном ионами бора с энергией 92 МэВ / В.С.Вариченко,А.Ю.Дидык,А.М.Зайцев и др. - Дубна : [б. и.], 2000. - 8 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-2000-105). - 290 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.002:669(04)

    Рубрики:
    Кремний -- Ионное внедрение

    Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- КРЕМНИЙ
    Доп. точки доступа:
    Вариченко, В.С.
    Дидык, А.Ю.
    Зайцев, А.М.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Р14-2000-105)

    Шифр в сводном ЭК: 4db51eeaf7d88280a3c6050f7337339e



    Заказ фрагмента документа ₽