• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Herz, R. Verfahren zur Prufung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen fur hochreine Flussigkeiten : Diss. / R.Herz. - Berlin [etc.], 1989. - 123 S. : Ill. - (Forschung und Praxis / Inst.fur industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Univ.Stuttgart ; N138). - ISBN 3-540-51457-0. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.116-123

    ГРНТИ УДК
    75.31.19628.175:621.38(043)

    Рубрики:
    Предприятия электронной промышленности -- Водоснабжение
    Сверхчистая вода -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ПРЕДПРИЯТИЕ -- СВЕРХЧИСТАЯ ВОДА
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Q/4742/138)

    Шифр в сводном ЭК: 7085bba6739d395629ce401eacab1e74



    Заказ фрагмента документа ₽