Полное описание
Геллер, Владимир Михайлович .
Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения / В. М. Геллер, В. А. Хрусталев. - 2-е изд., перераб. и доп. - Новосибирск : НГТУ, 2011. - 297 с. : ил. - (Монографии НГТУ). - Библиогр.: с. 284-293. - 3000 экз. -
ISBN 978-5-7782-1559-7. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.33 621.384-047.84 ББК 32.85 РУБ 11.04.04 11.03.04
Рубрики: Электронные приборы -- Производство
Доп. точки доступа: Хрусталев, В.А.
Хрусталев, Владимир Александрович
Электронная библиотечная система ZNANIUM
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-11/78889)
ЭБС Znanium : 127282, г. Москва, ул. Полярная, д.31В, стр.1 (Шифр в БД-источнике (ZNANIUM): RU\infra-m\znanium\bibl\546565)
Шифр в сводном ЭК: 9713a82694ccaa9db1d6a21d865d9446
Хрусталев В.А. Дозиметрия и защита от излучений АЭС / В. А. Хрусталев, 1995. - 88 c. - Текст : непосредственный. Хрусталев В.А. Физические и технико-экономические основы эксплуатации топлива на АЭС / В. А. Хрусталев, Л. А. Сандалова, 2002. - 65 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Хрусталев, В. А. Природоохранные технологии на ТЭС и АЭС : учеб. пособие к выполнению лаб. работ по курсу "Природоохр. технологии на ТЭС" для студентов направления 13.03.01 "Теплоэнергетика и теплотехника" профиль "Тепловые электр. станции" : в 3 ч. Ч. 2, 2016. - 39 с. - Текст : непосредственный. Хрусталев, В. А. Природоохранные технологии на ТЭС и АЭС : учеб. пособие к выполнению практ. работ по курсу "Природоохр. технологии на АЭС" для студентов направления 13.03.01 "Теплоэнергетика и теплотехника" профиль "Тепловые электр. станции" и по курсу "Воздействие АЭС на окружающую среду" для студентов специальности 14.05.02 "Атом. станции: проектирование, эксплуатация и инжиниринг" : в 3 ч. Ч. 3, 2016. - 51 с. - Текст : непосредственный. Хрусталев, В. А. Природоохранные технологии на ТЭС и АЭС : учеб. пособие к выполнению лаб. работ по курсу "Природоохран. технологии на ТЭС" для студентов направления 13.03.01 "Теплоэнергетика и теплотехника" профиль "Тепловые электр. станции" : в 3 ч. Ч. 1, 2016. - 85 с. - Текст : непосредственный. Хрусталев В.А. Физические основы ядерных энергетических установок : Учеб. пособие для студентов специальности 100500 / В.А. Хрусталев, П.Г. Антропов, 2005. - 114 с. - Текст : непосредственный. Геллер В.М. Аппаратурное обеспечение физико-технологических задач электронного приборостроения : Федерал.программа книгоиздания России / В.М.Геллер,В.А.Хрусталев, 2001. - 243 с. - Текст : непосредственный. Геллер В.М. Спецглавы физики : Учеб. пособие для П-IV курсов РЭФ направления "Электроника и микроэлектроника" / В.М.Геллер,В.А.Хрусталев, 1999. - 52 с. - Текст : непосредственный. Хрусталев В.А. Реакторное оборудование АЭС : Учеб.пособие по курсу "Реактор.установки для атом.электростанций" для студентов спец.1005 / В.А.Хрусталев, 1995. - 88 c. - Текст : непосредственный. Разинкин В.П. Широкополосные управляемые СВЧ устройства высокого уровня мощности / В. П. Разинкин, В. А. Хрусталев, С. Ю. Матвеев, 2014. - 315 с. - Текст : непосредственный. Хрусталев В.А. Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.09.10 / В. А. Хрусталев, 2002. - 32 с. - Текст : непосредственный. Хрусталев В.А. Основы физики ядерных энергетических реакторов на тепловых нейтронах : учеб. пособие / В. А. Хрусталев, 2011. - 153 с. - Текст : непосредственный. Хрусталев В.А. Режимы работы АЭС с ВВЭР : Учеб.пособие для студентов спец.100500 / В.А.Хрусталев, 2000. - 63 с. - Текст : непосредственный. Геллер, Владимир Михайлович. Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения / В. М. Геллер, В. А. Хрусталев, 2011. - 297 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Кадомская К.П. Электрооборудование высокого напряжения нового поколения. Основные характеристики и электромагнитные процессы / К. П. Кадомская, Ю. А. Лавров, О. И. Лаптев, 2008. - 342 с. - Текст : непосредственный. Формирование эффективных экономических отношений многоотраслевых интегрированных структур с участием вузов на базе развития инноваций / В. А. Титова, О. Л. Лямзин, О. А. Латуха, О. В. Макаренко, 2007. - 275 с. - Текст : непосредственный. Балаганский И.А. Взрывные системы с инертными высокомодульными элементами : монография / И. А. Балаганский, Л. А. Мержиевский, 2016. - 171 с. - Текст : электронный. Автоматизация технологических процессов на ТЭС и управление ими / П. А. Щинников, Г. В. Ноздренко, А. И. Михайленко [и др.], 2014. - 290 с. - Текст : непосредственный. Пинус А.Г. Производные структуры универсальных алгебр / А. Г. Пинус, 2007. - 202 с. - Текст : непосредственный. Ханин Г.И. Экономическая история России в новейшее время. Т. 1(2008) : Экономика СССР в конце 30-х годов - 1987 год, 2008. - 515 с. - Текст : непосредственный. Тимошенко Е.И. Эндоморфизмы и универсальные теории разрешимых групп / Е. И. Тимошенко, 2011. - 327 с. - Текст : электронный. Матвеев К.А. Вариационные методы исследования устойчивости анизотропных пластин при температурно-силовом нагружении : монография / К. А. Матвеев, Н. В. Пустовой, 2005. - 367 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Исследование конструктивной прочности материалов после комбинированного упрочнения и специальных видов сварки : монография / А. В. Плохов [и др.], 2015. - 391 с. - Текст : непосредственный. Пономарев К.Н. Центроиды групп и жесткие алгебраические группы / К. Н. Пономарев, 2012. - 238 с. - Текст : непосредственный. Попов А.А. Оптимальное планирование эксперимента в задачах структурной и параметрической идентификации моделей многофакторных систем / А. А. Попов, 2013. - 295 с. - Текст : электронный. Дунаев С.В. Термогидродинамика и интенсификация процессов переноса в пленочных газожидкостных аппаратах / С. В. Дунаев, 2005. - 175 с. - Текст : непосредственный. Тушинский Л.И. Структурная теория конструктивной прочности материалов : Монография / Л.И. Тушинский, 2004. - 399 с. - Текст : непосредственный. Алиферов, Александр Иванович. Индукционный и электроконтактный нагрев металлов / А. Алиферов, С. Лупи, 2011. - 410 с. - Текст : непосредственный. Овчинников Ю.В. Технология получения и исследования тонкодисперсных водоугольных суспензий : [монография] / Ю. В. Овчинников, Е. Е. Бойко, 2017. - 307 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный. Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный. Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Разработка конструкций и технологии производства электронных средств : выставочные материалы / Ульяновский гос. технический ун-т, 2016. - 101 с. - Текст : непосредственный. Лазутин Ю.Д. Технология электронных средств : выставочные материалы / Ю. Д. Лазутин, В. П. Корячко, В. В. Сускин, 2013. - 286 с. - Текст : непосредственный. Ноженков М.В. Научные основы расчета и выбора режимов формирования в вакууме защитных покрытий со сверхнизким трением : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / М. В. Ноженков, 2013. - 32 с. - Текст : непосредственный. Томилин В.И. Технология производства электронных средств. Организационно-методическое обеспечение курсового проектирования по дисциплине : выставочные материалы / В. И. Томилин, Н. П. Томилина, Н. А. Алексеева, 2012. - 118 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Процессы микро- и нанотехнологий в производстве устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, А. А. Семенов [и др.], 2018. - 58 с. - Текст : непосредственный. Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / А. А. Семенов, П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, И. Л. Мыльников, 2018. - 36 с. - Текст : непосредственный. Физико-химические и физико-технологические принципы автоматизации управления в технологии производства материалов и изделий электронной техники : учебное пособие / В. М. Воротынцев, В. М. Малышев, П. Н. Дроздов [и др.], 2018. - 114 с. - Текст : непосредственный. Мальцева В.А. Технология материалов и изделий электронной техники : учеб. пособие / В. А. Мальцева, 2017. - 111 с. - Текст : непосредственный. Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники : специальность 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Ю. В. Клунникова, 2019. - 40 с. - Текст : непосредственный. Иванов В.И. Ионные технологии в производстве изделий электронной техники : учебное пособие / В. И. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов ; под ред. А. С. Сигова, 2010. - 206 с. - Текст : непосредственный. Иванов В.И. Электронно-лучевые технологии в производстве изделий электронной техники : учеб. пособие / В. И. Иванов, А. П. Лучников, А. С. Сигов; ред. А. С. Сигов, 2009. - 255 с. - Текст : непосредственный. Клунникова Ю.В. Разработка математических моделей и алгоритмов оптимизации производства изделий из сапфира для электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / Ю. В. Клунникова, 2011. - 19 с. - Текст : непосредственный. Леухин В.Н. Конструирование и технология электронных средств : лаборатор. практикум / В. Н. Леухин, Е. П. Павлов, А. А. Нагаев, 2011. - 155 с. - Текст : непосредственный. Студенческая наука в приоритетных направлениях развития техники и технологии. Секции "Микроэлектроника и твердотельная электроника", "Электронное машиностроение" : тезисы докладов студенческой научно-практической конференции (г. Воронеж, 24 апреля 2017 г.) / Воронежский государственный технический университет, 2017. - 48 с. - Текст : непосредственный. Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы создания подложек сапфира для приборов твердотельной электроники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / Ю. В. Клунникова, 2016. - 40 с. - Текст : непосредственный. Electronics process technology : production modelling, simulation and optimisation / W. Sauer [et al.], 2006 r=on-line. - Текст : электронный. Лясников В.Н. Плазменное напыление в электронике и биомедицинской технике : учеб. пособие / В. Н. Лясников, Н. В. Протасова, 2010. - 275 с. - Текст : непосредственный. Селиванова З.М. Проектирование и технология электронных средств : учеб. пособие / З. М. Селиванова, Д. Ю. Муромцев, О. А. Белоусов, 2012. - 139 с. - Текст : электронный. Геллер, Владимир Михайлович. Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения / В. М. Геллер, В. А. Хрусталев, 2011. - 297 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания ЭБС ZNANIUM
Приложение
для Android
