Полное описание

Соломкин, Ф. Ю. Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:01.04.10 / Ф. Ю. Соломкин. - СПб, 1997. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Рос. АН. Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе. Библиогр.:с.15-16

ГРНТИ	УДК
44.41.31	621.362.1.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-2340)

Шифр в сводном ЭК: 284a809842dde9a7c92e9b309dbc9424

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽