Полное описание

Kunisch, C. Thermodynamische Modellierung der Systeme AL-C-N-Si,AL-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System AL-N-O-Zn : Diss. / C.Kunisch. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 172 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5625). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.,нем.Библиогр.:с.149-169

ГРНТИ	УДК
50.09.37	681.586(043)
50.09.39	681.587(043)

Рубрики:
Датчики
Исполнительные механизмы

Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК -- ДАТЧИКИ -- ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ МЕХАНИЗМЫ -- ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5625)

Шифр в сводном ЭК: 3ddf548552f9ed28c2c78a628facf69c

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽