Полное описание
Dziuban, J. A. ISBN 83-7085-634-9. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621-181.4
Рубрики: Миниатюрные изделия
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27107)
Шифр в сводном ЭК: 2aea5e7edda4d286b8c540669289ab09
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Material- und Verfahrensentwicklung fur mikrotechnische Hochleistungsbauteile : сборник научных трудов / Zusgest. K.-H. Zum Gahr, 2001. - 144 S. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6762 : Elektrische Erregung von Stromungen in Mikrokanalen / I.Meisel, P.Ehrhard, 2004. - 18 S. - Текст : непосредственный. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам : сб. ст. / Ред. П. П. Мальцев, 2005. - 589 с. - Текст : непосредственный. Мир материалов и технологий. Нанотехнологии. Наноматериалы. Наносистемная техника. Мировые достижения - 2008 год : сборник / Ред. П. П. Мальцев, 2008. - 430 с. - Текст : непосредственный. Dziuban J.A. Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemow / J.A.Dziuban, 2002. - 345 s. - Текст : непосредственный. Braden C. Entwicklung einer Apparatur zur Untersuchung von Quanteninterferenzeffekten in mesoskopischen Metallstrukturen : Diss. / C.Braden, 1991. - 106 S. - Текст : непосредственный. Мальцев, П. П. Микросистемная техника. Кн. 1 : Введение в информационное обеспечение микросистемной техники : Учеб. пособие, 2004. - 62 с. - Текст : непосредственный. Berechnung des Verformungsverhaltens einer Mikrobiegevorrichtung / W.Jansohn,P.Piesch,T.J.Reinke,C.Tsakmakis, 1995. - III,60 S. S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7184 : Polymerbasierte Mikro- und Nanokomposite fur Anwendungen in der Mikrosystemtechnik / T.Hanemann, 2005. - 185 S. - Текст : непосредственный. Murek U. Interferenzeffekte im Leitwert von metallischen Nanometer-Strukturen : Diss. / U.Murek, 1991. - IV, 154 S. 154 S. - Текст : непосредственный. Распопов В.Я. Приборы первичной информации. Микромеханические приборы : Учеб. пособие для студентов вузов по машиностроит. и приборостроит. спец. / В.Я.Распопов, 2002. - 389 с. - Текст : непосредственный. Распопов В.Я. Микромеханические приборы : учеб. пособие / В. Я. Распопов, 2007. - 399 с. - Текст : непосредственный. Gobel H. Herstellung und Analyse kunstlicher Nano-/Mikrostrukturen mit der Rastersondenmikroskopie : Diss. / H.G@:obel, 1996. - III,145 S. S. - Текст : непосредственный. Берро Сомар.Мехатронная реабилитационная микроманипуляционная система : 2.5.4. Роботы, мехатроника и робототехнические системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Берро Сомар, 2026. - 19 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Евстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный. Material- und Verfahrensentwicklung fur mikrotechnische Hochleistungsbauteile : сборник научных трудов / Zusgest. K.-H. Zum Gahr, 2001. - 144 S. - Текст : непосредственный. Micro system technologies 90 : сборник / Ed. H. Reichl, 1990. - XV,858 p. p. - Текст : непосредственный. IUTAM symposium on advances in micro- and nanofluidics / SpringerLink (Online service), 2009 r=on-line. - Текст : электронный. Быркин В.А. Корреляционные эффекты в системе несмачивающая жидкость - нанопористая среда / В. А. Быркин, 2013. - 28 с. - Текст : непосредственный. Journal of Micromechanics and Microengineering. - Журнал выходит с 1991г. r=on-line. - Текст : электронный. Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный. Precision assembly technologies for mini and micro products / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-line. - Текст : электронный. Михайлов П.Г. Микромеханические приборы, устройства и технологии / П. Г. Михайлов, 2007. - 172 с. - Текст : непосредственный. Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный. Microsystems and nanotechnology / Ed. Z. Zhou, 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Mikrotechnik'89 : материалы временных коллективов, 1989. - 256 S. - Текст : непосредственный. Интегрируемые с наносенсорами интерфейсы изделий микросистемной техники : выставочные материалы / О. В. Дворников, Н. Н. Прокопенко, Е. И. Старченко, С. Г. Крутчинский, 2013. - 64 с. - Текст : непосредственный. Buchberger P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer, 1997. - VI,119 S. S. - Текст : непосредственный. Нано-и микросистемная техника : Ежемес. междисциплинарный теоретический и прикладной научо-технический журн.: Журн. вып. при научно-метод. рук. Отд-ния нанотехнологий и информ. технологий Российской АН / Новые технологии, Изд-во. - Журнал выходит с 2005г. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6990 : 5. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 10./11. Febr. 2004 im Forschungszentrum Karlsruhe / Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik (5; 2004; Karlsruhe), 2004. - 18,242 S. S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7000 : Micro-P-PIM Pulverspritzgiessen nachbearbeitungsarmer Mikroprazisionsbauteile aus Keramik und Metall : Kolloquium zum BMBF-Projekt Micro-P-PIM am 11. Febr. 2004 in der Aula des Forschungzentrums Karlsruhe, 2004. - VI,88 S. S. - Текст : непосредственный. Micro system technologies 91 : монография / Ed.: R. Krahn, H. Reichl, 1991. - 552 p. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
