• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Новак, А. В. Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. В. Новак. - М., 2014. - 28 с. : ил. - Библиогр.: с. 27-28 (14 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    45.35.29621.319.4-416-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): КОНДЕНСАТОРЫ ПЛЕНОЧНЫЕ -- ПРОИЗВОДСТВО
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-10263)

    Шифр в сводном ЭК: e8bf707b9c3f1761a2a2ea7a0866c981



    Заказ фрагмента документа ₽