• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Зайцев, А. А. Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт-литографии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. А. Зайцев. - М., 2014. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22 (13 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.35.47621.382.3.029.6-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): НАНОИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАНЗИСТОРЫ СВЧ
    Аннотация: Представлены разработка и исследование методик формирования наноразмерных элементов с применением наноимпрининтлитографии, исследование возможности и методов использования наноимпринт-литографии в стандартной технологии формирования СВЧ транзисторов, а также исследование характеристик созданных устройств.
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-10184)

    Шифр в сводном ЭК: d800183bfe1fb33121a30966c73e65b6



    Заказ фрагмента документа ₽