• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Solid state phenomena : материалы временных коллективов. - Stafa-Zurich : Trans tech publ., 2007 - . - Текст : непосредственный.
    Vol. 131-133 : Gettering and defect engineering in semiconductor technology XII-GADEST 2007 : proc. of the 12th Intern. autumn meet. EMFCSC, Erice, Italy, Oct. 14-19, 2007 / International autumn meeting "Gettering and defect engineering in semiconductor technology-GADEST 2007" (12th; 2007; Erice) ; ed. A. Cavallini [et al.]. - 2008. - XV, 642 p. : ill. - Библиогр. в конце докл. Указ.: с. 635-642

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592-047.84(063)

    Рубрики:
    Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Cavallini, A.\ed.\
    International autumn meeting "Gettering and defect engineering in semiconductor technology-GADEST 2007" (12th ; 2007 ; Erice)
    Экз-ры полностью a3d22845c066b120f41552714e7b7c45
    Копия:

    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/18265/131-133)

    Шифр в сводном ЭК: a3d22845c066b120f41552714e7b7c45



    Заказ фрагмента документа ₽