Полное описание

"Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники", российско-японский семинар (4 ; 2006 ; Астрахань). Материалы IV российско-японского семинара "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники" : МИСиС-ULVAC Inc.-АГУ, 22-23 мая 2006 г. / "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники", российско-японский семинар (4; 2006; Астрахань) ; Под ред. Л. В. Кожитова, В. К. Карпасюка. - М. : Изд-во МГИУ, 2006 (М.). - 721 с. : ил. - Библиогр. в конце отд. докл. Авт. указ.: с. 717-721. - 400 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т стали и сплавов (технол. ун-т), Астрах. гос. ун-т

ГРНТИ	УДК
55.13	621.7/.9(062)
47.13	621.3.049.76.002(063)

Рубрики:
Технология материалов -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Кожитов, Л.В.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/22892)

Шифр в сводном ЭК: a88f18be2e66ecd5cb1f7f71571eca78

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽