Полное описание
Rogge, T.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621-181.4(043)
Рубрики: Миниатюрные изделия -- Производство -- Автоматизация
Кл.слова (ненормированные): МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа: Rummler, Z.
Schomburg, W.K.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6671)
Шифр в сводном ЭК: 890805a769ca8eba2a6ef425270db338
Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6960 : Magnetically driven micro ball valve fabricated by multilayer adhesive film bonding : Diss. / C.Fu,R.Truckenmueller,Z.Rummler,W. K.Schomburg, 2003. - II,71 p. p. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Schomburg W.K. Introduction to Microsystem Design / W. K. Schomburg, 2015 r=on-line. - Текст : электронный. Rogge T. Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung : Diss. / T.Rogge,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,123 S. S. - Текст : непосредственный. Wulff K. Hybride Drucksensoren aus Kunststoff und Glas nach dem AMANDA-Verfahren : Diss. / K.Wulff,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,88 S. S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7125 : Entwicklung und Herstellung einer chemisch inerten Mikropumpe / Y.Cheng, R.Truckenmuller, R.Ahrens, T.Rogge, 2005. - 68 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6922 : Analyse des Mikro-Heissprageverfahrens / M.Worgull,M.Heckele,W.K.Schomburg, 2003. - IV, 119 S. 119 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7058 : Werkzeugentwicklung fur das Heisspr@agen beidseitig mikrostrukturierter Formteile : Diss. / H.Dittrich, M.Heckele, W. K.Schomburg, 2004. - III, 70 S. - Текст : непосредственный. Vitt M. Dichtemessungen in flussigen Medien mit Mikromembransensoren : Diss. / M.Vitt,W.K.Schomburg, 1998. - III,127 S. S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6801 : Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen : Diss. / R.Truckenm@:uller,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2003. - II,90 S. S. - Текст : непосредственный. Entwicklung von Mikromembranpumpen von der seriengerechten Konzeption bis zur Anwendung : Diss. / B.B@:ustgens,W.Bacher,W.Menz,W.K.Schomburg, 1996. - VI,92 S. S. - Текст : непосредственный. Rummler Z.M. Entwicklung und Optimierung eines Mikroentgasers fur die HPLC unter dem Aspekt der industriellen Herstellbarkeit : Diss. / Z.M.Rummler,W.K.Schomburg, 1999. - IV,57 S. S. - Текст : непосредственный. Rapp R. Konzeption,Entwicklung und Realisierung einer Mikromembranpumpe in LIGA-Technik : Diss. / R.Rapp,W.K.Schomburg,P.Bley, 1993. - 98 S. - Текст : непосредственный. Durchflusssensoren aus Kunststoff fur sehr kleine Volumenstrome auf der Basis des AMANDA-Verfahrens : Diss. / D.Dittmann,Z.Rummler,K.Schlote-Holubek,W.K.Schomburg, 2002. - 102 S. - Текст : непосредственный. Fahrenberg J. Entwicklung eines aktiven Ventilsystems in LIGA-Technik fur die minimalinvasive Therapie / J.Fahrenberg,D.Maas,W.K.Schomburg, 1995. - 107 S. - Текст : непосредственный. Entwicklung, Herstellung und Test von aktiven Mikroventilen fur pneumatische Anwendungen : Diss. / CGoll,WBacher,WMenz,W.K.Schomburg, 1997. - 89 S. - Текст : непосредственный. Kraus S. Xerogelstrukturen als Sensormatrices : монография / S. Kraus, J. Goschnick ; Ed: C. A. Melendres, A. Tadjeddine, 1996. - 99 S. - Текст : непосредственный. Muller S. Messungen an PZT-Keramiken / S. Muller, 1999. - 33 S. - Текст : непосредственный. Beuchle G. Hydrolyse von Sodalith zur in situ Konditionierung saurer Porenwasser mit technischen Basen durch Neutralisation und Sekundarphasenbildung : сборник научных трудов / G. Beuchle, 1999. - 151 S. - Текст : непосредственный. Stieglitz R. Kann man das Erdmagnetfeld im Labor simulieren? / R. Stieglitz, U. Muller, 1999. - 29 S. - Текст : непосредственный. Bernatzki A. Geometrische Interpretation neuronaler Netze / A. Bernatzki, 1999. - 123 S. - Текст : непосредственный. Seiter Ch. Numerische Simulation turbulenter Auftriebsstromungen in horizontalen Kanalen : сборник научных трудов / Ch. Seiter, 1995. - XI,172 S. S. - Текст : непосредственный. Compatibility of 31 metals,alloys and coatings with static Pb-17Li eutectic mixture / H. Feuerstein, H. Grabner, J. Oschinski, J. Beyer, 1995. - 161 p. - Текст : непосредственный. Schirra M. Das Umwandlungsverhalten der hochwarmfesten martensitischen Stahle mit 8-14 Cr / M. Schirra, H. Finkler, 1995. - 38 S. - Текст : непосредственный. OPTIFER,ein weiterer Schritt zur Entwicklung niedrigaktivierender martensitischer Stahle : сборник научных трудов / M. Schirra, K. Ehrlich, S. Heger, M. T. Hernandez, 1995. - 41 S. - Текст : непосредственный. Lindemann K. Objektorientierte Modellierung am Beispiel eines Mikrosystems zur Messung von Beschleunigungen / K. Lindemann, H. Eggert, W. Suss, 1995. - II,102 S. S. - Текст : непосредственный. Scaffidi-Argentina F. Modellierung des Schwellens und der Tritium-Freisetzung von bestrahltem Beryllium : сборник научных трудов / F. Scaffidi-Argentina, 1995. - XIII,139 S. S. - Текст : непосредственный. Wien A. Ein Beitrag zur Analyse von quasi-optischen Wellentypwandlern in Hochleistungsgyrotrons : сборник научных трудов / A. Wien, 1995. - 129 S. - Текст : непосредственный. Hermanutz D. Neutroneninduzierte Verlagerungsschadigung von Beryllium im Blanket eines (d,t)-Fusionsreaktors / D. Hermanutz, 1995. - V,101 S. S. - Текст : непосредственный. Chung-I C. Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch lonenimplantation : сборник научных трудов / C. Chung-I, 1995. - 254 S. - Текст : непосредственный. Gruber C. Numerische Simulation von Gyrotronkanonen mit BFCPIC und BFCRAY : сборник научных трудов / C. Gruber, 1995. - II,69 S. S. - Текст : непосредственный. Reimann J. Report of working group MHD for the Blanket Concept Selection Exercise (BCSE) / J. Reimann, G. Benamati, R. Moreau, 1995. - 48 p. - Текст : непосредственный. Bethge K. Gerate zum Auffinden und Bewerten von holzzersetzender Faule in Baumen / K. Bethge, C. Mattheck, E. Hunger, 1995. - 36 S. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Elzer M. Die Vieldraht-Proportionalkammern von KASCADE bei Luftschauern mit hoher Teilchendichte / M. Elzer, 1996. - 60 S. - Текст : непосредственный. Kuntz M. Bestimmung der Hohenverteilung stratospharischer Spurengase aus Emissionsspektren eines bodengebundenen Millimeterwellen-Radiometers / M. Kuntz, 1996. - IX,135 S. S. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Евстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный. Быркин В.А. Корреляционные эффекты в системе несмачивающая жидкость - нанопористая среда / В. А. Быркин, 2013. - 28 с. - Текст : непосредственный. Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный. Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный. Buchberger P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer, 1997. - VI,119 S. S. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Burg B. Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit bebiebiger, ebener Oberflachengeometrie : Diss / B.Burg, 1991. - 117 S. - Текст : непосредственный. Жуков А.А. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / А. А. Жуков, 2003. - 52 с. - Текст : непосредственный. Лысенко И.Е. Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / И. Е. Лысенко, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный. Гринькин Е.А. Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.16.09 / Е. А. Гринькин, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный. Rogge T. Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung : Diss. / T.Rogge,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,123 S. S. - Текст : непосредственный. Kaiser S.C. Entwicklung eines magnetisch-induktiven Mikroventils nach dem AMANDA - Verfahren : Diss. / S.C.Kaiser, 2000. - ii,75 S. S. - Текст : непосредственный. Achenbach S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr, 2000. - VI,138 S. S. - Текст : непосредственный. Плотников А.А. Обеспечение качества поверхностного слоя миниатюрных деталей и повышение производительности алмазного микровыглаживания на основе динамической стабилизации процесса : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.02.08 / А. А. Плотников, 2005. - 18 с. - Текст : непосредственный. Кравченко И.В. Разработка и исследование методов и средств проектирования микросистем с интегральными термоэлементами : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / И. В. Кравченко, 2005. - 23 с. - Текст : непосредственный. Иванов А.С. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.11 / А. С. Иванов, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
