Полное описание
International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo). Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3 ; International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo) . - Tokyo : Japan soc. of appl. phys., 2000. - 4255-4691 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics ; 2000,Vol.39,N 7B). - Текст : непосредственный. ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.76.002(063)
Рубрики: Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР Доп. точки доступа: Держатели документа: Шифр в сводном ЭК: 3d14958455fe387bb95e59e48a041b54
Papers presented at the 6th microoptics conference and 14th topical meeting on gradient-index..,Tokyo, Oct.7-9,1997 / Microoptics conference (6th ; 1997 ; Tokyo) , Topical meeting on gradient-index optical systems (14th ; 1997 ; 895(#1) / 895(#2) / 895(#3))! , 1998. - 3633-3637 p. p. - Текст : непосредственный. Ferroelectric materials and their applications : сборник / Ed. Y. Ishibashi, 1997. - 5789-6166 p. p. - Текст : непосредственный. Ultrasonic electronics : 18th symp.on ultrasonic electronics, Chiba,Nov.12-14,1997 / USE97. Pt. 1 : Regular papers,short notes & review papers, 1998. - 2775-3173 p. p. - Текст : непосредственный. Japanese Journal of Applied Physics. - Журнал выходит с 1962г. r=on-line. - Текст : электронный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Microprocesses and nanotechnology : The 10th Intern.microprocesses and nanotechnology conf.,July 7-10,1997,Nagoya / MNC'97, 1997. - 7473-7808 p. p. - Текст : непосредственный. Papers prsented at the joint international symposium on optical memory and optical data storage,Maui(Hi),on July 8-12,1996 / ISOM/ODS'96, 1997. - 403-594 p. p. - Текст : непосредственный. The 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный. Optical memories : Intern.symp.on optical memory,Sapporo,Oct.1-4,1991 / ISOM'91, 1992. - VII,308 p. p. - Текст : непосредственный. MicroProcess : The 5th (4th intern.) microprocess conf.,Kanagawa,13-16 July 1992 / MPC 92, 1992. - 4103-4585 p. p. - Текст : непосредственный. Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3, 2000. - 4255-4691 p. p. - Текст : непосредственный. Microoptics : 7th microoptics conf., Chiba, Jul.14-16, 1999 / MOC'99;Ed.:K.Goto et al. Pt. 1, 2000. - 1463-1581 p. p. - Текст : непосредственный. Solid state devices and materials : Papers presented at the intern.conf.on solid state.., Tokyo,Sept.21-24, 1999 / SSDM'99, 2000. - 1963-2482 p. p. - Текст : непосредственный. Ultrasonic electronics : 20th memorial symp.on ultrasonic electronics, Ohfuh-kan, 17-19, Nov.1999 / USE 99, 2000. - 2883-3269 p. p. - Текст : непосредственный. Solid state devices and materials : Papers presented intern.conf.on solid state ..,Yakohama,Aug.26-29,1996 / SSDM'96, 1997. - 1319-1993 p. p. - Текст : непосредственный. Plasma processing : Papers presented at the 3rd intern.conf.on reactive plasmas held in Nara,on Jan.21-24,1997 / ICRP-3;Ed.:Y.Kawai et.al. Pt. 1 : Regular papers,short notes & review papers, 1997. - 4547-5024 p. p. - Текст : непосредственный. modifications structurales apportees par les nouveaux procedes d'usinage et de mise en forme : Colloque intern.,19-20 nov.,1992, 1992. - Pag.var. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Integrated processing for micro and optoelectronics : Proc.of the symp.D on integrated processing for micro and optoelectronics of the 1993 E-MRS spring meeting conf.,held in Strasbourg,May 4-7,1993 / Ed. Y. I. Nissim, 1994. - VII,91-374 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : Papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94, 1995. - 2073-2195 p. p. - Текст : непосредственный. Papers from the international conference on electron,ion, and photon beam technology and nanofabrication,Atlanta(Ga),28-31 May 1996 / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th; 1996; Atlanta,Ga), 1996. - 3413-4545 p. p. - Текст : непосредственный. Тезисы докладов конференции "Нанотехнологии - производству - 2006" : 29 ноября - 30 ноября 2006 г. / "Нанотехнологии - производству - 2006", конф. (Фрязино) , 2006. - 195 с. - Текст : непосредственный. Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies : Proc .of the Nato ASI on сhemical physics of thin film deposition .., 2001, Sept.3-14, Kaunas / Ed. Y. Pauleau, 2002. - 363 p. - Текст : непосредственный. Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- наноэлектроники : тр. IV Рос.-япон. семинара, МИСиС - ULVAC inc. - АГУ, 22-23 мая 2006 г. / Московский гос. ин-т стали и сплавов. Ч. 2, 2006. - 382 с. - Текст : непосредственный. Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- наноэлектроники : тр. IV Рос.-япон. семинара, МИСиС - ULVAC inc. - АГУ, 22-23 мая 2006 г. / Московский гос. ин-т стали и сплавов. Ч. 1, 2006. - 364 с. - Текст : непосредственный. Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3, 2000. - 4255-4691 p. p. - Текст : непосредственный. Материалы IV российско-японского семинара "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники" : МИСиС-ULVAC Inc.-АГУ, 22-23 мая 2006 г. / "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники", российско-японский семинар (4; 2006; Астрахань), 2006. - 721 с. - Текст : непосредственный. Актуальные проблемы нанотехнологии и наноматериалов : тез. докл. ученых РАН на Рос.- кит. семинаре по пробл. нанотехнологии и наноматериалов, Пекин, Китай, окт. 2006 / Российско-Китайский семинар по проблемам нанотехнологии и наноматериалов (2006 ; Пекин), 2006. - 144 с. - Текст : непосредственный. Nanotechnologies in the area of physics, chemistry and biotechnology : Fifth ISTC Scientific advisory committee Seminar. St Petersburg, Russia, May 27-29, 2002Abstracts, 2002. - 133 p. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
