• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Defects in high-k gate dielectric stacks : nano-electronic semiconductor devices / ed. E. Gusev ; ed. E. Gusev. - Dordrecht : Springer, 2006. - on-line. - (NATO science series. Ser. II, Mathematics, physics and chemistry ; 220). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/1-4020-4367-8. - ISBN 978-1-4020-4366-6. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    47.33621.382.004.6

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы -- Дефекты

    Доп. точки доступа:
    Gusev, E.\ed.\
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/1-4020-4367-8


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.382.004.6/D30-567685)

    Шифр в сводном ЭК: 21e388c7b84a432c4de246bc62ace96a



    Просмотр издания