• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Зайцев, Н. А. Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 06.27.01 / Н. А. Зайцев. - М., 1994. - 51 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск. гос. ун-т электрон. техники (Техн. ун-т). Библиогр.:с.44-51 (62 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33.41621.3.049.77-047.84(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-0566)

    Шифр в сводном ЭК: 607868f16d1c482dc37dc12ca2fa1e12



    Заказ фрагмента документа ₽