Приложение
для AndroidПолное описание
Проблемы микроэлектронной технологии : сб.ст. / Отв.ред.Орликовский ; Ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1994. - 128 c. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.8). - 365 экз. - ISBN 5-02-007030-0. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Рос.АН.Библиогр.в конце ст.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76.002:621.794 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Травление
Доп. точки доступа:
Орликовский, А.А.\ред.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/8)
Шифр в сводном ЭК: 6a4668afdad5eeee6811c23eb3c33630
Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Наноэлектроника / под ред. А. А. Орликовского. Ч. 1 : Введение в наноэлектронику, 2009. - 719 с. - Текст : непосредственный.Проблемы микроэлектронной технологии : Сб.ст. / Отв.ред.Орликовский, 1994. - 128 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии / Ред. А. А. Орликовский, 1996. - 109 с. - Текст : непосредственный.Труды ФТИАН / Российская академия наук, Физико-технологический институт. Т. 20 : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование / отв. ред. А. А. Орликовский, 2009. - 175 с. - Текст : непосредственный.Микроструктурирование тонких пленок : Сб.ст. / Отв.ред.А.А.Орликовский, 1991. - 112 с. - Текст : непосредственный.Problems of Submicron Technology / Ed.by А.А.Orlikovsky, 2000. - 111 p. - Текст : непосредственный.Труды ФТИАН / Российская академия наук, Физико-технологический институт. Т. 24 : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование / гл. ред. А. А. Орликовский ; отв. ред. А. А. Махвиладзе, 2014. - 263 с. - Текст : непосредственный.Прохоров К.Я. Англо-русский словарь по микроэлектронике : Около 24000 терминов / К. Я. Прохоров, А. А. Орликовский, А. Г. Соколов, 1993. - 392 с. - Текст : непосредственный.
Диагностика микроэлектронных структур / Ред. А. М. Афанасьев, 1993. - 112 с. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный.Проблемы микроэлектронной технологии : сборник / Ред. Л. В. Великов, 1994. - 78 c. - Текст : непосредственный.Проблемы микроэлектронной технологии : Сб.ст. / Отв.ред.Орликовский, 1994. - 128 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии / Ред. А. А. Орликовский, 1996. - 109 с. - Текст : непосредственный.Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и наноэлектронике / Ред. Ю. П. Маишев, 1999. - 185 с. - Текст : непосредственный.Микроструктурирование тонких пленок : Сб.ст. / Отв.ред.А.А.Орликовский, 1991. - 112 с. - Текст : непосредственный.Моделирование технологических процессов микроэлектроники : Сб.ст. / Отв.ред.Т.М.Махвиладзе, 1992. - 120 с. - Текст : непосредственный.Problems of Submicron Technology / Ed.by А.А.Orlikovsky, 2000. - 111 p. - Текст : непосредственный.Диагностика полупроводниковых и магнитных структур с нанометровыми размерами / Отв. ред. А.М.Афанасьев, 1999. - 127 с. - Текст : непосредственный.
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПроблемы микроэлектронной технологии : сборник / Ред. Л. В. Великов, 1994. - 78 c. - Текст : непосредственный.Галперин В.А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов, 2010. - 283 с. - Текст : непосредственный.Проблемы микроэлектронной технологии : Сб.ст. / Отв.ред.Орликовский, 1994. - 128 c. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Терентьев С.А. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.09.10,05.27.01 / С. А. Терентьев, 2002. - 16 c. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽