• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Стеколин, И. Ю. Вторичная электронная эмиссия рельефных субмикронных кремниевых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / И. Ю. Стеколин. - М., 1994. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Рос.АН,Ин-т общ.физики. Библиогр.: с.18-19(12 назв.)

    ГРНТИ УДК
    29.35.37537.533.8(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-605)

    Шифр в сводном ЭК: abfaafec708647ab61b1d3ad23da0e90



    Заказ фрагмента документа ₽