• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Александров, О. В. Специальные вопросы технологии производства интегральных микросхем : учебно-методическое пособие / О. В. Александров ; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2017. - 28 с. - (Учебно-методическое пособие). - Библиогр.: с. 26-27 (10 назв.). - 51 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77-047.84

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-17/51866)

    Шифр в сводном ЭК: 4a4497f28e1cf8e084ecb13454c745f5



    Заказ фрагмента документа ₽