Приложение
для AndroidПолное описание
Воротынцев, В. М. Базовые технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / В. М. Воротынцев, В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов. - н. новгород : Нижегор. гос. техн. ун-т, 2006 (н. новгород). - 357 с. - Библиогр.: с. 356-357. - 500 экз. - ISBN 5-93272-364-5. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Нижегор. гос. техн. ун-т
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Доп. точки доступа:
Перевощиков, В.А.
Скупов, В.Д.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/27810)
Шифр в сводном ЭК: 6471103f0c6ac2cca731f619360f496e
Перевощиков В.А. Физико-химические процессы химико-динамического полирования полупроводников (кремний, германий, полупроводниковые соединения типа А В) : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим. наук / В. А. Перевощиков, 1994. - 57 с. - Текст : непосредственный.
Воротынцев В.М. Устройство аппаратов для гидродинамических и тепловых процессов в химической технологии : учебное пособие / В. М. Воротынцев, П. Н. Дроздов, В. М. Малышев, 2018. - 131 с. - Текст : непосредственный.Физико-химические и физико-технологические принципы автоматизации управления в технологии производства материалов и изделий электронной техники : учебное пособие / В. М. Воротынцев, В. М. Малышев, П. Н. Дроздов [и др.], 2018. - 114 с. - Текст : непосредственный.Перевощиков В.А. Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : Монография / В.А.Перевощиков,В.Д.Скупов, 1992. - 198 c. - Текст : непосредственный.Воротынцев В.М. Газовые гидраты в процессах разделения газовых смесей / В. М. Воротынцев, В. М. Мылышев, И. В. Воротынцев, 2014. - 265 с. - Текст : непосредственный.Воротынцев В.М. Базовые технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / В. М. Воротынцев, В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов, 2006. - 357 с. - Текст : непосредственный.Моделирование амплитудно-частотной характеристики ПАВ-фильтра методом -функций : учеб. пособие / В. М. Воротынцев [и др.], 2014. - 83 с. - Текст : непосредственный.Филатов, Н. Н. Процессы и аппараты химической технологии : Учеб.пособие для студентов спец.250300 и 200100. Ч. 1 : Теория гидромеханических и тепловых процессов, 1999. - 75 с. - Текст : непосредственный.Воротынцев В.М. Моделирование ионной имплантации методом Монте-Карло : учеб. пособие / В. М. Воротынцев, В. Ю. Водзинский, Н. П. Блохина, 2008. - 105 с. - Текст : непосредственный.Технология и техника ионной имплантации в производстве сверхбольших интегральных микросхем : учеб. пособие / А. Ю. Азов [и др.], 2014. - 178 с. - Текст : непосредственный.Филатов, Н. Н. Процессы и аппараты химической технологии : Учеб.пособие для студентов спец.250300 и 200100. Ч. 3 : Основы массопередачи / В.М. Воротынцев, В.С. Епифанова, П.Н. Дроздов, 2005. - 240 с. - Текст : непосредственный.Процессы и аппараты химической технологии : учеб. пособие : в 4 ч. / Нижегород. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева. Ч. 1 : Теория гидромеханических и тепловых процессов / В. М. Воротынцев [и др.], 2013. - 78 с. - Текст : непосредственный.Воротынцев И.В. Получение высокочистого фосфина с мембранной очисткой продукта / И. В. Воротынцев, А. В. Воротынцев, В. М. Воротынцев. - Текст : непосредственный // Экологические системы и приборы. - М. : Научтехлитиздат, 2016. - N 8. - с. 51-61Пиролиз полимерных материалов, используемых для изготовления компонентов топливной системы автомобиля / Г. М. Мочалов [и др.]. - Текст : непосредственный // Экология и промышленность России. ЭКиП. - М. - 2014. - Ноябрь. - с. 48-51Глубокая очистка газов от легкопроникающих примесей с помощью мембранного модуля с питающим резервуаром / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, И.В. Воротынцев, Е.С. Беляев. - Текст : непосредственный // Мембраны и мембранные технологии. - М. - 2011. - Т. 1 № 3. - с. 174-179Перевощиков В.А. Физико-химические основы технологии обработки поверхности полупроводников : Учеб. пособие / В.А.Перевощиков,В.Д.Скупов, 1997. - 253 с. - Текст : непосредственный.Воротынцев В.М. Газогидратная кристаллизация / В. М. Воротынцев, В. М. Малышев, 2012. - 222 с. - Текст : непосредственный.Филатов, Н. Н. Процессы и аппараты химической технологии : Учеб.пособие для студентов спец.250300 и 200100. Ч. 2 : Конструкции аппаратов и машин гидромеханических и тепловых процессов, 2001. - 111 с. - Текст : непосредственный.Перевощиков, В. А. Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках. Ч. 1, 2002. - 220 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПолтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный.Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кормилицын О.П. Механика материалов и структур нано- и микротехники : учебное пособие / О. П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло, 2008. - 216 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Элионная обработка / О. С. Моряков, 1989. - 128 c. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный.Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный.Растова Н.А. Энергетический спектр электронов в двумерных ковалентных структурах с локальными дефектами на поверхности / Н. А. Растова, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный.Мазуренко С.Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев, 1994. - 75 c. - Текст : непосредственный.Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный.Умаров С.И. Взаимодействие алюминия со стронцием, индием и кремнием и разработка высокочистых алюминиевых сплавов : специальность 02.00.01 "Неорганическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / С. И. Умаров, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный.Давыдов В.Н. Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Н. Давыдов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽