Полное описание
> Баранова, Л. В. Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.02.05 / Л. В. Баранова. - 2016. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.). - 110 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 29.19.16 539.23(043)
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар17-610)>
Шифр в сводном ЭК: 77306d54be610c37919d5cb5eeed90f1
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лукинских С.В. Инженерная графика. Начертательная геометрия : учеб. пособие / С. В. Лукинских, Л. В. Баранова, Т. И. Сидякина; [науч. ред. С. В. Лукинских], 2015. - 98 с. - Текст : непосредственный. Лукинских С.В. Инженерная графика. Разработка конструкторской документации с элементами конструирования : учеб. пособие / С. В. Лукинских, Л. В. Баранова, Т. И. Сидякина, 2016. - 114 с. - Текст : непосредственный. Баранова Л.В. Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 01.02.05 / Л. В. Баранова, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный. Семенова Н.В. Инженерная графика : учеб. пособие / Н. В. Семенова, Л. В. Баранова, 2014. - 86 с. - Текст : непосредственный. Лукинских С.В. Инженерная графика. Выполнение рабочих чертежей деталей : учебное пособие / С. В. Лукинских, Л. В. Баранова, Т. И. Сидякина; научный редактор - Н. В. Семенова, 2019. - 142 с. - Текст : непосредственный. IBM Journal Research <& >Development / IBM. - Журнал выходит с 1957г. - Текст : непосредственный. Neuffer A. Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle / A. Neuffer, 1999. - 113 S. - Текст : непосредственный. Physics of thin films. Advances in research and development / Ed.:G.Hass. Vol. 15 : Thin films for advanced electronic devices: Xerox.(3 kor.), 1991. - XII,332 p. p. - Текст : непосредственный. Structure of surfaces and interfaces as studied using synchrotron radiation : материал технической информации, 1990. - 341 p. - Текст : непосредственный. Thin films: trends and new applications : Proc. of the 2nd intern. symp. on trends and new applications in thin films, Regensburg, F.R.G., 27 Febr.- 3 Mar., 1989 / Ed.:H.Hoffmann. Vol. 1, 1989. - XII,336 p. p. - Текст : непосредственный. Thin films: trends and new applications : Proc. of the 2nd intern. symp. on trends and new applications in thin films, Regensburg, F.R.G., 27 Febr.- 3 Mar., 1989 / Ed.:H.Hoffmann. Vol. 2, 1989. - IX,353 p. p. - Текст : непосредственный. Лазерная атомно-молекулярная технология и диагностика элементарных процессов : сборник / Ред. Н. И. Коротеев, 1990. - 222 с. - Текст : непосредственный. Семенов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение / А. П. Семенов, 1999. - 207 с. - Текст : непосредственный. structure of surfaces III : материалы временных коллективов / Ed. S. Y. Tong, 1991. - XVIII,683 p. p. - Текст : непосредственный. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1999г. т. 43 № 5/6. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1995г. т. 39 № 6. Mebert J. Untersuchung der Phononenstreung in amorphen Einzel- und Mehrfachschichten und der Zusammenhang mit den Tieftemperaturanomalien glaserner Systeme / J. Mebert, 1991. - 187 S. - Текст : непосредственный. Zeppenfeld P. Phasenubergange und Dynamik von Festkorperoberflachen und physisorbierten Schichten / P. Zeppenfeld, 1989. - 166 S. - Текст : непосредственный. Ниматов С.Ж. ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. Ж. Ниматов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1993г. т. 37 № 5. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1997г. т. 41 № 4/5. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1999г. т. 43 № 3. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Neuffer A. Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle / A. Neuffer, 1999. - 113 S. - Текст : непосредственный. Майоров А.А. Разработка аппаратуры молекулярно-лучевой эпитаксии для научных исследований и технологий : специальность 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук / А. А. Майоров, 1993. - 42 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Капустин Е.Н. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Е. Н. Капустин, 2003. - 20 с. - Текст : непосредственный. Клюенков Е.Б. Получение пленок многокомпонентных материалов из эрозионной лазерной плазмы в химически активной газовой среде : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Е. Б. Клюенков, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ozoguz Y. Zur Schichtkristallisation als Schmelzkristallsationsverfahren : Diss. / Y.Ozoguz, 1992. - 233 S. - Текст : непосредственный. Шведов Е.В. Формирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / Е. В. Шведов, 2006. - 33 с. - Текст : непосредственный. Шулунов В.Р. Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 01.04.14 / В. Р. Шулунов, 2002. - 24 с. - Текст : непосредственный. Шевчук С.Л. Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / С. Л. Шевчук, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный. Пономаренко В.О. Динамика поверхностного слоя монокристаллических подложек при газоразрядном напылении пленок : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / В. О. Пономаренко, 2010. - 24 с. - Текст : непосредственный. Осипов А.В. Кинетика зарождения тонких пленок из газовой фазы на твердых подложках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кад.физ.-мат.наук:01.02.04:01.04.07 / А. В. Осипов, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Баранова Л.В. Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 01.02.05 / Л. В. Баранова, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный. Шестопалов М.Ю. Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / М. Ю. Шестопалов, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽