• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Баранова, Л. В. Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.02.05 / Л. В. Баранова. - 2016. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.). - 110 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.16539.23(043)

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар17-610)

    Шифр в сводном ЭК: 77306d54be610c37919d5cb5eeed90f1



    Заказ фрагмента документа ₽