Полное описание

Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники : межвуз. сб. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т) ; Под ред. В.В.Гусева, М.Л.Минкина. - М. : [б. и.], 2000. - 275 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0273-7. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002
	621.38.002.5

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Предприятия электронной промышленности -- Оборудование

Доп. точки доступа:
Гусев, В.В.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-00/64001)

Шифр в сводном ЭК: f0135df3346692e7c02b8c146274b0fe

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽