• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шевчук, С. Л. Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / С. Л. Шевчук. - М., 2002. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 21-22

    ГРНТИ УДК
    29.19539.23(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-1711)

    Шифр в сводном ЭК: 6311db67c1f4fe3b6909168beed83c27



    Заказ фрагмента документа ₽